[实用新型]一种石英管真空封口设备及其同心卡盘

权利要求书

1.一种石英管真空封口设备用同心卡盘，其特征在于：包括用于固定连接于支撑板上的固定环板，固定环板外周同心转动安装有转动环板，该同心卡盘还包括连接于固定环板上的环形安装板，环形安装板上沿周向间隔设置有三个以上的拐臂，各拐臂远离铰接端的端部均设置有压紧轮，该同心卡盘还包括设置于转动环板上的以带动各拐臂同步动作的传动结构，该同心卡盘还包括对各拐臂摆动至相应位置使其固定保持的固定结构。

2.根据权利要求1所述的石英管真空封口设备用同心卡盘，其特征在于：所述传动结构包括连接于转动环板上的操动环板，操动环板上具有操动部，操动环板上连接有具有石英管通过孔的盖板，各拐臂上均设置有导向柱，盖板的侧面上设置有供各导向柱导向移动安装的弧形导向槽，各弧形导向槽的长度沿周向方向延伸且各弧形导向槽沿其长度方向逐渐靠近石英管通过孔。

3.根据权利要求2所述的石英管真空封口设备用同心卡盘，其特征在于：所述固定结构包括位于固定环板和环形安装板之间的并连接于固定环板上的中间连接板，环形安装板连接于中间连接板上，操动环板位于中间连接板和环形安装板之间，操动环板的操动部上设置有长度沿周向方向延伸的弧形孔，弧形孔中穿装有锁紧螺钉，中间连接板上沿周向方向间隔设置有多个供锁紧螺钉螺纹连接以固定操动环板的螺纹孔。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的石英管真空封口设备用同心卡盘，其特征在于：所述拐臂的数量为三个并沿环形安装板的周向均匀间隔设置于环形安装板上。

5.一种石英管真空封口设备，包括支座，支座上设置有旋转抽真空装置，旋转抽真空装置具有供待封口的石英管安装的真空接头，其特征在于：所述支座上通过支撑板设置有用于支撑待封口石英管的同心卡盘，所述同心卡盘包括用于固定连接于支撑板上的固定环板，固定环板外周同心转动安装有转动环板，该同心卡盘还包括连接于固定环板上的环形安装板，环形安装板上沿周向间隔设置有三个以上的拐臂，各拐臂远离铰接端的端部均设置有压紧轮，该同心卡盘还包括设置于转动环板上的以带动各拐臂同步动作的传动结构，该同心卡盘还包括对各拐臂摆动至相应位置使其固定保持的固定结构。

6.根据权利要求5所述的石英管真空封口设备，其特征在于：所述传动结构包括连接于转动环板上的操动环板，操动环板上具有操动部，操动环板上连接有具有石英管通过孔的盖板，各拐臂上均设置有导向柱，盖板的侧面上设置有供各导向柱导向移动安装的弧形导向槽，各弧形导向槽的长度沿周向方向延伸且各弧形导向槽沿其长度方向逐渐靠近石英管通过孔。

7.根据权利要求6所述的石英管真空封口设备，其特征在于：所述固定结构包括位于固定环板和环形安装板之间的并连接于固定环板上的中间连接板，环形安装板连接于中间连接板上，操动环板位于中间连接板和环形安装板之间，操动环板的操动部上设置有长度沿周向方向延伸的弧形孔，弧形孔中穿装有锁紧螺钉，中间连接板上沿周向方向间隔设置有多个供锁紧螺钉螺纹连接以固定操动环板的螺纹孔。

8.根据权利要求5-7中任一项所述的石英管真空封口设备，其特征在于：所述拐臂的数量为三个并沿环形安装板的周向均匀间隔设置于环形安装板上。

9.根据权利要求5所述的石英管真空封口设备，其特征在于：所述支座包括底座和安装架，安装架包括底板，底板上设置有导轨，导轨上导向移动安装有导轨盖板，同心卡盘通过支撑板设置于导轨盖板上。