[实用新型]一种基于石墨烯的增强红外吸收器件有效
| 申请号： | 201921039924.7 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN210136170U | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 金华伏安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3563 | 分类号： | G01N21/3563;G01J3/42;B01L3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 增强 红外 吸收 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于石墨烯的增强红外吸收器件，包括衬底、侧壁、顶壁、石墨烯薄膜、微结构层，微结构层由周期排布的微结构构成，衬底、侧壁和顶壁构成微流通道，其特征在于：所述石墨烯薄膜和所述微结构层置于微流通道内，所述微结构层的数目为两层以上，所述石墨烯薄膜置于所述每层微结构层上。
2.如权利要求1所述的基于石墨烯的增强红外吸收器件，其特征在于：所述侧壁为硅材料，所述顶壁为硅或氮化硅材料。
3.如权利要求2所述的基于石墨烯的增强红外吸收器件，其特征在于：所述微结构为二氧化硅材料。
4.如权利要求2所述的基于石墨烯的增强红外吸收器件，其特征在于：所述微结构为贵金属材料。
5.如权利要求3-4任一项所述的基于石墨烯的增强红外吸收器件，其特征在于：所述微结构为圆形、方形、圆环形。
6.如权利要求5所述的基于石墨烯的增强红外吸收器件，其特征在于：在相邻两层微结构层中，微结构在水平方形的位置不同。
7.如权利要求6所述的基于石墨烯的增强红外吸收器件，其特征在于：所述顶壁的厚度在100纳米-100微米范围内。
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