[实用新型]一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构

说明书

一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，本实用新型的挂桶下活动连接有可分离的小齿轮与旋转中心的不动齿轮盘啮合，形成了桶有自身自转又围绕炉体中心有公转的状态，使依附在挂桶表面的产品在旋转中获得靶材的离子溅射膜，实现弧形产品镀膜，而小齿轮的顶端贯穿有挂架托盘，挂架托盘在挂桶的外围围绕放置挂架有若干组，等距于挂桶与靶材的距离，而挂架的底端连接有自转齿轮机构，依照挂架的原理，实现了平板形的产品镀膜与弧面产品镀膜的兼容，在平板镀膜时，只要取下桶，装上平板挂架即可；在镀孤面产品时，取下平板挂架，装上桶，从而实现一炉多用，有效减少了初投资，使有限的设备，更好适应了变化的市场对不同产品的需求。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机的工件架领域，更具体地说，尤其涉及一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构。

背景技术

目前，随着手机、化妆品、光学、光电子产业的迅速发展，出现了很多不规则形状的元件，如弧形产品，片状产品等，目前常用的的镀膜机一般只有只能进行片状产品镀膜或仅能进行弧形产品的镀膜。

而现有的镀膜机在磁控溅射镀膜时，桶型挂架与片状挂架都是在两个炉子来进行的，互不通用，而买一个炉子，少则几十万，多则上百上千万，企业的设备投入成本较大，不利于适应市场不同产品需求。

实用新型内容

本实用新型针对上述缺点对现有技术进行改进，提供一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，技术方案如下：

一种用于镀膜机真空室的工件架兼容机构，包括有炉体，该炉体内设有镀膜炉腔，所述镀膜炉腔的内部设置有公转盘转动机构和自转齿轮机构，内壁一侧连接有靶材，该公转盘转动机构连接于炉体的内侧底部，其包括有固定连接炉体的底盘，所述底盘的上方均匀排列连接有第一支撑柱若干组，并通过第一支撑柱连接有不动大齿盘，该不动大齿盘的外周均匀围绕啮合有小齿轮若干组，并形成行星齿轮机构，所述小齿轮的底部中心均通过延伸穿设于公转盘，顶端中心均延伸贯穿挂架托盘，且该小齿轮的顶端面均开设有固定孔，所述固定孔穿设有挂桶，该挂桶可转动穿设于小齿轮的上方，所述挂架托盘的外周边沿围绕穿设有挂架组件，该挂架组件的底端连接有自转齿轮机构，所述挂架组件的外侧与靶材之间的距离和挂桶的外周与靶材之间的距离一致。

所述自转齿轮机构设置于炉体的内侧底部与底盘之间，其包括有旋转缸，该旋转缸固定嵌设于炉体的外侧底部，其旋转轴穿过炉体并设置于镀膜炉腔的内部，所述旋转缸的旋转轴连接有曲柄摇杆机构，该曲柄摇杆机构的另一端连接有导向滑块，所述导向滑块的下方连接有导向轨，该导向轨固定连接于炉体的内侧底部，所述导向滑块的上方固定连接有齿条，该齿条与自转齿轮相啮合，所述自转齿轮套设于挂架组件的底端，且该挂架组件于自转齿轮的上方均固定穿设有自转定位器。

进一步，所述挂架组件包括有挂架及连接于挂架两端的自转下轴和定位上轴，该挂架的上方通过定位上轴活动穿设于公转上盘，该挂架的下方通过自转下轴从上到下依次穿设有自转定位器和与齿条相啮合的自转齿轮，使挂架进行限位自转，所述挂架与靶材相对应设置。

进一步，旋转缸旋转180度带动曲柄摇杆机构把运动由摇杆传递到滑块上，滑块上装有能够让自转齿轮旋转足够180度的齿条，在公转的同时，由于此齿条与自转齿轮相啮合，带动带有产品的挂具旋转实现了翻身，而齿轮的上端有自转定位器，该自转定位器为磨擦盘，此磨擦盘与自转下轴通过平键固定联接，在重力作用下压在自转齿轮的上表面，当轴的转角大于180度时，由销子限位，磨擦盘打滑从而达到准确翻身的目的，当翻完身后，旋转缸反转，滑块退回，挂架保持了不动，实现再镀另一面的目的，并且可以实现多次反复翻身镀膜的目的。

所述挂桶的两端分别连接有自转下轴和定位上轴，该挂桶的上方通过定位上轴活动穿设于公转上盘，该挂桶的下方通过自转下轴活动连接小齿轮。

所述公转盘的底部固定连接有传动齿轮，该传动齿轮的下方可转动连接底盘，上方通过均匀排列的第二支撑柱连接挂架托盘，该挂架托盘的顶端面围绕通过公转支撑杆连接有公转上盘，所述公转上盘与挂架托盘之间可拆卸连接有挂架组件若干组。