[实用新型]一种镀膜机的挂架公转机构有效

专利信息
申请号: 201921039109.0 申请日: 2019-07-05
公开(公告)号: CN210215536U 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 王越民;王焘骏 申请(专利权)人: 佛山王氏航空光学科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 代理人: 郭官厚
地址: 528225 广东省佛山市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 挂架 公转 机构
【说明书】:

一种镀膜机的挂架公转机构,底盘的顶端面连接有传动齿轮,该传动齿轮的上方连接有公转盘,第一支撑柱设置有若干组,其两端分别固定连接底盘与不动齿轮盘,该挂架托盘与传动齿轮之间设置有第二支撑柱若干组,该第二支撑柱的两端分别固定连接挂架托盘与传动齿轮,本实用新型通过采用行星齿轮机构驱动挂架托盘实现挂架公转,而行星齿轮机构中的小齿轮底部连接公转盘,顶端连接挂架托盘,挂架托盘通过公转支撑杆连接公转上盘,能够使公转时挂架行走状态速度均匀,实现公转机构转动更稳定,有效使产品镀膜均匀,提高镀膜质量,且通过在挂架托盘圆周边沿围绕拆卸连接挂架组件,使在占用空间较少的情况下实现挂量大,有效提高产能。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机的转动机构,更具体地说,尤其涉及一种镀膜机的挂架公转机构。

背景技术

由于现代科技发展的要求,真空镀膜技术得到了飞速的发展,真空镀膜技术可以改变工件表面性能,提高工件耐磨损、抗氧化和耐腐蚀等性能,从而延长工件的使用寿命,真空镀膜技术也可以实现光学、电学、半导体薄膜器件的制备,具有很高的经济价值,而磁控溅射技术可以制备各种超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜以及各种具有特殊功能的薄膜,在工业薄膜制备领域的应用非常广泛。

在镀膜领域中,目前使用的镀膜机的线长较长、占用空间大,成本较高并且存在小腔室挂量少、产能低、以及产能提升幅度有限的问题,甚至存在挂架转动速度不均和不稳定,导致产品镀膜膜后不均匀的问题,影响镀膜质量。

实用新型内容

本实用新型针对上述缺点对现有技术进行改进,提供一种镀膜机的挂架公转机构,技术方案如下:

一种镀膜机的挂架公转机构,包括有镀膜机本体,所述镀膜机本体的内部呈中空结构,使其形成镀膜炉腔,该镀膜炉腔的内部底端固定连接有底盘,所述底盘的顶端面可转动连接有传动齿轮,该传动齿轮的上方固定连接有公转盘,所述公转盘的上方围绕均匀穿设有小齿轮,该小齿轮均可转动连接公转盘,所述传动齿轮呈环形结构,所述底盘的顶端面于其与传动齿轮的连接处内侧通过第一支撑柱连接有不动齿轮盘,该第一支撑柱设置有若干组,其两端分别固定连接底盘与不动齿轮盘,所述不动齿轮盘分别与小齿轮相啮合,并形成行星齿轮机构,所述小齿轮的顶端中心分别向上延伸并活动穿设于挂架托盘,该挂架托盘与传动齿轮之间设置有第二支撑柱若干组,该第二支撑柱的两端分别固定连接挂架托盘与传动齿轮,所述挂架托盘的顶端面通过公转支撑杆固定连接有公转上盘,该公转上盘与挂架托盘之间连接挂架组件若干组。

所述镀膜机本体的内部顶端对应公转上盘的中心延伸设置有上支撑座,并通过其活动连接公转上盘。

进一步,所述上支撑座的下方连接有离子源除尘装置,该离子源除尘装置的上方外周可转动连接有挡板轨道,下方外周围绕连接公转上盘,并通过挡板轨道承托离子源除尘装置,所述挡板轨道的上端边沿固定连接镀膜机本体的内侧顶端。

所述传动齿轮的下方通过呈圆环状结构的导轨活动连接底盘。

所述公转支撑杆围绕挂架托盘的顶端面设置有四组,其呈十字形状均匀分布设置,该公转支撑杆均连接公转上盘,并使公转上盘随挂架托盘旋转。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:本实用新型通过采用行星齿轮机构驱动挂架托盘实现挂架公转,而行星齿轮机构中的小齿轮底部连接公转盘,顶端连接挂架托盘,挂架托盘通过公转支撑杆连接公转上盘,能够使公转时挂架行走状态速度均匀,实现公转机构转动更稳定,有效使产品镀膜均匀,提高镀膜质量,且通过在挂架托盘圆周边沿围绕拆卸连接挂架组件,使在占用空间较少的情况下实现挂量大,有效提高产能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍:

图1为本实用新型的全剖结构示意图;

图2为本实用新型的局部立体放大图;

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