[实用新型]蚀刻制程废酸循环再利用生产系统有效

专利信息
申请号: 201921031743.X 申请日: 2019-07-03
公开(公告)号: CN210163330U 公开(公告)日: 2020-03-20
发明(设计)人: 王明;王晶;沈飞 申请(专利权)人: 无锡东风新能源科技有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00;C01B7/19
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 冯智文
地址: 214117 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 蚀刻 制程废酸 循环 再利用 生产 系统
【说明书】:

实用新型公开了蚀刻制程废酸循环再利用生产系统,包括箱体,所述箱体的内部由前往后依次划分为过滤槽、沉淀槽与管式过滤槽,所述过滤槽与沉淀槽之间通过一层过滤网隔开,所述沉淀槽与管式过滤槽之间通过一块沉淀挡板隔开,所述过滤槽内活动安装有一个叶轮,所述沉淀槽内活动安装有一个投料管,所述管式过滤槽内设置有若干过滤管膜。本实用新型所述的蚀刻制程废酸循环再利用生产系统,通过通过设置过滤、沉淀、反向过滤三个步骤对蚀刻废酸进行处理,利用NaCl与KCl组成的混合沉淀剂与废酸中的F‑、SiF62‑离子反应沉淀,得到无害的Na2SiF6、K2SiF6,同时,利用进水的冲击驱动叶轮转动,再带动投料管转动实现自动周期性加料,减少人工劳动。

技术领域

本实用新型涉及废酸循环再利用领域,特别涉及蚀刻制程废酸循环再利用生产系统。

背景技术

在液晶显示屏或玻璃盖板的制作过程中,对液晶面板和光电玻璃进行化学蚀刻减薄是薄化企业中一项重要的生产加工环节,由于蚀刻减薄主要产品液晶面板等材质主要是Si02(二氧化硅),企业主要都是利用HF(氢氟酸)与蚀刻产品中的Si02(二氧化硅)以及其他金属氧化物进行化学反应,使面板或玻璃材质腐蚀剥离,从而达到快速减薄产品等加工要求,而在蚀刻减薄生产环节中将产生大量氟硅酸等危废液体,普通的废酸处理通常采用石灰或石灰石中和处理,但是会产生大量含有CaSO4、CaF2的混合固体危废物,不仅增加了后续处理固体危废的成本,而且浪费了废酸原液中剩余的未反应的HF原料。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供蚀刻制程废酸循环再利用生产系统,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

蚀刻制程废酸循环再利用生产系统,包括箱体,所述箱体的内部由前往后依次划分为过滤槽、沉淀槽与管式过滤槽,所述过滤槽与沉淀槽之间通过一层过滤网隔开,所述沉淀槽与管式过滤槽之间通过一块沉淀挡板隔开,所述过滤槽内活动安装有一个叶轮,所述沉淀槽内活动安装有一个投料管,所述管式过滤槽内设置有若干过滤管膜。

优选的,所述过滤槽的外侧在箱体的顶部设有一块竖直向上的支撑板,所述支撑板的顶部中间位置开设有一个凹槽,且在凹槽内安置一根进水弯管,所述进水弯管的出水末端竖直向下伸入过滤槽内。

优选的,所述过滤槽的内壁上纵向安装有一根活动的一号转动轴,所述叶轮就固定安装在一号转动轴上,且叶轮的半边叶片正好位于进水弯管的出口正下方。

优选的,所述沉淀槽的内壁上纵向安装有一根活动的二号转动轴,所述投料管就固定安装在二号转动轴的中间位置,所述投料管的外表面开设有一排出料孔,所述一号转动轴与二号转动轴的一端分别伸出箱体的的外壳,并在末端分别安装一个传动轮,所述传动轮之间通过一根传动皮带进行连接,且传动轮与传动皮带的外侧另设有一个防护罩,所述防护罩则固定安装在箱体的侧面外壳上。

优选的,所述管式过滤槽的前后各设置有一块支架板,所述支架板之间连接有若干过滤管膜,所述过滤管膜的后端底部另开设有一个出水口。

优选的,所述箱体的后端底部连接有一根出水管并连通到管式过滤槽内。

优选的,所述沉淀槽的底部设置有一块与水平面呈度夹角的沉淀斜板。

与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:

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