[实用新型]一种预变形的硅片承载框

权利要求书

1.一种预变形的硅片承载框，其特征在于，包括多条支承杆、框架以及连接组件，其中，所述多条支承杆纵横交错设置在框架内且支承杆的两端均与框架连接，纵横交错的多条支承杆形成多个用于承载硅片的承载槽；所述连接组件包括两个连接杆，所述框架的其中两个相对的侧部分别通过可拆卸连接结构连接在两个连接杆上，所述两个连接杆均向上微凸。

2.根据权利要求1所述的预变形的硅片承载框，其特征在于，所述两个连接杆设置在框架的底部。

3.根据权利要求1所述的预变形的硅片承载框，其特征在于，还包括固定组件，该固定组件包括两个固定杆，所述两个固定杆分别设置在框架底部的另外两个相对的侧部；每个固定杆的两端均设有用于将连接杆的端部夹紧在框架底面的夹紧缺口。

4.根据权利要求1所述的预变形的硅片承载框，其特征在于，所述连接组件还包括向上微凸的中部定型杆，该中部定型杆设置在位于框架中部的支承杆底部，且中部定型杆与连接杆平行设置。

5.根据权利要求4所述的预变形的硅片承载框，其特征在于，所述中部定型杆的厚度从中间往两边逐渐减小。

6.根据权利要求1所述的预变形的硅片承载框，其特征在于，所述连接杆的厚度从中间往两边逐渐减小。

7.根据权利要求3所述的预变形的硅片承载框，其特征在于，所述框架包括两个连接部以及两个变形部，所述两个连接部相对设置，所述两个变形部相对设置，所述两个连接部以及两个变形部构成一个矩形的安装框，所述连接部的宽度比变形部的宽度大；所述连接杆设置在变形部的底部，所述固定杆设置在连接部的底部。

8.根据权利要求1所述的预变形的硅片承载框，其特征在于，横向设置的支承杆的两侧均设有承载台阶；每个承载槽中的两个横向设置的支承杆的承载台阶形成用于支承硅片的承载组件。

9.根据权利要求1-8任一项所述的预变形的硅片承载框，其特征在于，所述连接杆呈“凸”字型，所述框架的其中两个相对的侧部的两端分别连接在连接杆相对较低的端部上。

10.根据权利要求1-8任一项所述的预变形的硅片承载框，其特征在于，所述连接杆的顶面呈中间高两端低的弧形弯曲设置，所述连接杆的底面水平设置。