[实用新型]一种辅助工装有效
| 申请号: | 201921002756.4 | 申请日: | 2019-06-28 |
| 公开(公告)号: | CN210389138U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
| 发明(设计)人: | 薛帅;徐恩强 | 申请(专利权)人: | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号: | B25H3/00 | 分类号: | B25H3/00 |
| 代理公司: | 潍坊正信致远知识产权代理有限公司 37255 | 代理人: | 李红亮 |
| 地址: | 266104 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 辅助 工装 | ||
1.一种辅助工装,其特征在于,包括用于容纳晶圆盒的壳体,所述壳体上设置有物料进口,所述物料进口处所述壳体内壁两侧分别设置有物料导向结构;
每侧所述物料导向结构均包括多条并行设置的导向轨道,所有所述导向轨道位于外侧的端部内外交错设置形成长短分区。
2.根据权利要求1所述的辅助工装,其特征在于,任意相邻两所述导向轨道的长度不同,并且所有所述导向轨道内侧的端部对齐设置。
3.根据权利要求1所述的辅助工装,其特征在于,各所述导向轨道位于所述壳体外侧的端部均设置有导向角。
4.根据权利要求1所述的辅助工装,其特征在于,所述壳体上设置有用于取放所述晶圆盒的盒体进口。
5.根据权利要求1至4任一项所述的辅助工装,其特征在于,各所述物料导向结构均包括导向基板,所述导向基板上设置所述导向轨道;各所述物料导向结构均通过所述导向基板固定在所述壳体内壁上。
6.根据权利要求5所述的辅助工装,其特征在于,两侧所述导向基板之间设置有支撑梁,且所述支撑梁设在所述导向基板的一端。
7.根据权利要求6所述的辅助工装,其特征在于,各所述导向基板的两端均设置有固定部。
8.根据权利要求7所述的辅助工装,其特征在于,各所述固定部均通过紧固件与所述壳体或所述支撑梁固定连接。
9.根据权利要求4所述的辅助工装,其特征在于,所述盒体进口外扩呈喇叭口。
10.根据权利要求4所述的辅助工装,其特征在于,所述壳体与所述盒体进口相对的一端设置有通孔。
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