[实用新型]一种辅助工装有效

专利信息
申请号: 201921002756.4 申请日: 2019-06-28
公开(公告)号: CN210389138U 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 薛帅;徐恩强 申请(专利权)人: 歌尔科技有限公司
主分类号: B25H3/00 分类号: B25H3/00
代理公司: 潍坊正信致远知识产权代理有限公司 37255 代理人: 李红亮
地址: 266104 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 辅助 工装
【权利要求书】:

1.一种辅助工装,其特征在于,包括用于容纳晶圆盒的壳体,所述壳体上设置有物料进口,所述物料进口处所述壳体内壁两侧分别设置有物料导向结构;

每侧所述物料导向结构均包括多条并行设置的导向轨道,所有所述导向轨道位于外侧的端部内外交错设置形成长短分区。

2.根据权利要求1所述的辅助工装,其特征在于,任意相邻两所述导向轨道的长度不同,并且所有所述导向轨道内侧的端部对齐设置。

3.根据权利要求1所述的辅助工装,其特征在于,各所述导向轨道位于所述壳体外侧的端部均设置有导向角。

4.根据权利要求1所述的辅助工装,其特征在于,所述壳体上设置有用于取放所述晶圆盒的盒体进口。

5.根据权利要求1至4任一项所述的辅助工装,其特征在于,各所述物料导向结构均包括导向基板,所述导向基板上设置所述导向轨道;各所述物料导向结构均通过所述导向基板固定在所述壳体内壁上。

6.根据权利要求5所述的辅助工装,其特征在于,两侧所述导向基板之间设置有支撑梁,且所述支撑梁设在所述导向基板的一端。

7.根据权利要求6所述的辅助工装,其特征在于,各所述导向基板的两端均设置有固定部。

8.根据权利要求7所述的辅助工装,其特征在于,各所述固定部均通过紧固件与所述壳体或所述支撑梁固定连接。

9.根据权利要求4所述的辅助工装,其特征在于,所述盒体进口外扩呈喇叭口。

10.根据权利要求4所述的辅助工装,其特征在于,所述壳体与所述盒体进口相对的一端设置有通孔。

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