[实用新型]氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿

说明书

本实用新型公开了一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，包括氮化铝陶瓷蒸发皿体、液位计、第一连接臂和第二连接臂，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体呈杯型，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体与第一连接臂相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体与第二连接臂相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体设有空腔，所述液位计设有液位腔，所述空腔的底部与第一连接臂相连通，所述第一连接臂与第二连接臂相连接并相连通，所述第二连接臂与液位腔的底部相连通。本实用新型中，氮化铝陶瓷蒸发皿体具有相对的化学稳定性，能有效减少浆料的粘壁和爬壁现象，减少对金属浆料的污染。本实用新型还通过设置与氮化铝陶瓷蒸发皿体相连通的液位计，方便用户对蒸镀时氮化铝陶瓷蒸发皿体的液位变化进行观察。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备设计领域，尤其涉及一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿。

背景技术

蒸镀加工，是一种将金属浆料于真空环境中加热，使浆料气化后沉淀到产品上，以此来于产品上形成薄膜的一种加工方法，其又称真空蒸镀或真空镀膜。蒸镀加工中往往需要使用金属蒸发皿，以便于金属浆料的承载和加热，但是目前常见的金属蒸发皿在使用过程中往往会对金属浆料造成污染，并且在加热时，还常会出现金属浆料的爬壁和粘壁现象。

另一方面，在蒸镀加工过程中，用户往往需要观察蒸发皿的液位变化情况，以了解当前的加工速度，加工效果等加工情况，来便于适时对加热温度等参数进行调整，以保证能获得良好的蒸镀效果。但由于蒸镀过程中，存在蒸汽影响，加上金属浆料量大，用户难以观察当前蒸发皿的液位变化情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，可以解决上述问题中的一个或几个。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，包括氮化铝陶瓷蒸发皿体、液位计、第一连接臂和第二连接臂，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体呈杯型，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体与第一连接臂相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体与第二连接臂相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体设有空腔，所述液位计设有液位腔，所述空腔的底部与第一连接臂相连通，所述第一连接臂与第二连接臂相连接并相连通，所述第二连接臂与液位腔的底部相连通。

本实用新型的有益效果是：本实用新型中，氮化铝陶瓷蒸发皿体具有相对的化学稳定性，其用于承载金属浆料，在蒸镀不易与金属浆料反应，也不易粘着金属浆料，能有效减少浆料的粘壁和爬壁现象，减少对金属浆料的污染。本实用新型还通过设置与氮化铝陶瓷蒸发皿体相连通的液位计，则其能利用一部分金属浆料来对应出当前氮化铝陶瓷蒸发皿体的液位高度，方便用户对蒸镀时氮化铝陶瓷蒸发皿体的液位变化进行观察。

在一些实施方式中，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体包括杯体、杯口和杯底，所述杯体的顶部与杯口相连接，所述杯体的底部与杯底相连接，所述杯底的内径为57～59mm，杯底的外径为59～61mm，所述杯口的外径为62～64mm，所述杯口的内径为60～62mm。氮化铝陶瓷蒸发皿体的各个部件限制在上述范围内，其制作成本和用于蒸镀的加工效率的性价比高。

在一些实施方式中，所述杯底和杯体的连接处设有圆角，所述圆角的半径为5～7mm。圆角的设置能防止其连接处锐边的产生，提高安全性。

在一些实施方式中，所述液位计包括壳体和浮球，所述液位腔设于壳体内，所述浮球位于液位腔内，所述壳体与第二连接臂相连接。由此，浮球能随着液位腔能的液位上升和下降，以更直观地表示出当前液位。

在一些实施方式中，所述壳体上设有刻度。刻度的设置能便于用户更直观地了解液位的高度。

在一些实施方式中，所述液位计包括安装块，所述安装块固定安装在壳体上。安装块的设置能便于液位计的固定，以减少加工时液位计发生的震动。

在一些实施方式中，所述第一连接臂设有第一法兰，所述第二连接臂设有第二法兰，所述第一法兰和第二法兰相连接。第一法兰和第二法兰的设置能便于第一连接臂和第二连接臂的拆卸，以便于对液位计的更换和清洗。