[实用新型]一种激光器芯片测试装置有效
申请号: | 201920989831.4 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN210222199U | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 孔繁禹;廖传武;张亮;袁家勇 | 申请(专利权)人: | 大连优迅科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01M11/00 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 温福雪 |
地址: | 116023 辽宁省大连市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光器 芯片 测试 装置 | ||
本实用新型属于光通信技术领域,具体涉及一种激光器芯片测试装置,包括光纤透镜、光纤三维调节架、散热台、温控模块、探针三维调节架、探针、PIV耦合电源和波长计。本实用新型改进了常规芯片测试系统,增加了半导体制冷器和温度反馈器件热敏电阻,二者组成温度反馈补偿系统,从而达到局部温度的精确控制,大大减小测试结果的误差。
技术领域
本实用新型属于光通信领域,具体涉及一种激光器芯片测试装置。
背景技术
芯片测试是保证光器件生产良率不可或缺的重要环节,芯片测试对测试环境要求非常严格。在芯片测试环境中,测试温度是测试环境中的重要参数,因此,建立稳定的温控系统,从而保证测试环境的温度精度,是芯片测试中重要的环节之一。
目前行业常规芯片测试系统存在两个弊端:1)无温控系统;2)有温控系统,但没有温度反馈系统,导致温控精度较低。
实用新型内容
本实用新型方案旨在提供一种用于光通信的激光器芯片测试装置,来解决现有技术存在的不足。
本实用新型解决技术问题所采用的方案是:
一种激光器芯片测试装置,包括光纤透镜1、光纤三维调节架2、散热台3、温控模块4、探针三维调节架5、探针6、PIV耦合电源7和波长计8;
所述的温控模块4安装在散热台3上,主要由管壳9、半导体制冷器10和热敏电阻11组成;所述的管壳9固定在散热台3上,管壳9形成上方开口的空间,所述的半导体制冷器10固定在管壳9内,所述的热敏电阻11固定在半导体制冷器10上;所述的半导体制冷器10和热敏电阻11通过金线与管壳9的管脚相连,且PIV耦合电源7与相应的管脚相连,为半导体制冷器10和热敏电阻11提供电能,PIV耦合电源7测量热敏电阻11的阻抗,并控制半导体制冷器10的制冷;
所述的散热台3,其左右两侧各设有一个探针三维调节架5;所述的探针6共两个,分别安装在两个探针三维调节架5上,通过探针三维调节架5调节探针6的位置;测试时,两个探针6分别与半导体制冷器10上的激光器芯片的正极和负极相接触,且两个探针6同时与PIV耦合电源7相连接,为激光器芯片提供电能;
所述的光纤三维调节架2位于散热台3的一侧,光纤透镜1置于光纤三维调节架2上,通过光纤三维调节架2调节光纤透镜1的位置,使半导体制冷器10上的激光器芯片的出光方向正对光纤透镜1;所述的波长计8与光纤透镜1相连接,用于测量激光器芯片发出光的波长和功率。
所述的管壳9通过UV胶固定于散热台3上;所述的半导体制冷器10通过环氧银固定在管壳9内;所述的热敏电阻11通过环氧银固定在半导体制冷器10上。
本实用新型的有益效果:本实用新型改进了常规芯片测试系统,增加半导体制冷器(TEC)和温度反馈器件热敏电阻(Rth),二者组成温度反馈补偿系统,从而达到局部温度的精确控制,大大减小测试结果的误差。
附图说明
图1为本实用新型的激光器芯片测试装置示意图。
图2为温控模块示意图。
图中:1光纤透镜;2光纤三维调节架;3散热台;4温控模块;5探针三维调节架;6探针;7 PIV耦合电源;8波长计;9管壳;10半导体制冷器;11热敏电阻。
具体实施方式
以下结合附图和技术方案,进一步说明本实用新型的具体实施方式。
如图1,本实用新型的一种激光器芯片测试装置,包括光纤透镜1、光纤三维调节架2、散热台3、温控模块4、探针三维调节架5、探针6、PIV耦合电源7和波长计8。
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