[实用新型]一种新型区熔单晶保温装置

说明书

本实用新型提供了一种新型区熔单晶保温装置，包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260‑280mm，且保温板的下部的直径为280‑320mm；所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的保温锯齿之间设有缝隙。本实用新型所述的一种新型区熔单晶保温装置，锯齿状的金属板可以将原金属板内产生的涡流分散到若干个条状锯齿中，降低涡流大小，从而有效地降低保温装置因高频感应的涡流发热，冷却水可以降低保温装置因自身发热对单晶轴向温度梯度产生的影响。

技术领域

本实用新型属于单晶硅保温技术领域，尤其是涉及一种新型区熔单晶保温装置。

背景技术

在区熔大直径单晶的生产保持的过程中，为了保证单晶轴向稳定合理的温度梯度，降低三相点的热应力与位错密度，减少位错发生，保温装置的设置是一个非常重要的环节。不合理的保温结构，会使单晶因轴向温度梯度过小而引起三相点位置位错密度急剧增大，造成单晶保持过程中断棱；反之，也会因为单晶轴向温度梯度增大，单晶三相界面热应力过大，而造成的单晶开裂。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种新型区熔单晶保温装置，以有效地改善单晶断棱或开裂的现象。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种新型区熔单晶保温装置，包括冷却水环和保温板，所述的保温板固定在冷却水环的下方；

所述的保温板围绕呈锥形结构，所述的保温板的上部的直径为260-280mm，且保温板的下部的直径为280-320mm；

所述的保温板包括保温环片和若干的保温锯齿，所述的保温环片固定在所述的冷却水环的下方，所述的保温锯齿固定在保温环片的下方，所述的保温锯齿之间设有缝隙。

进一步的，所述的保温板的厚度为1-2mm。

进一步的，所述的保温锯齿与水平面之间的夹角为75-80°。

进一步的，所述的冷却水环围绕形成圆环状结构。

进一步的，所述的冷却水环设有进水口和出水口，所述的进水口和出水口分别位于冷却水环的两端。

进一步的，所述的冷却水环与保温板的材质均为金属。

进一步的，所述的保温板的材质为铜或钼。

进一步的，所述的冷却水环的材质为铜。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种新型区熔单晶保温装置具有以下优势：

(1)本实用新型所述的一种新型区熔单晶保温装置，锯齿状的金属板可以将原金属板内产生的涡流分散到若干个条状锯齿中，降低涡流大小，从而有效地降低保温装置因高频感应的涡流发热，冷却水可以降低保温装置因自身发热对单晶轴向温度梯度产生的影响。

(2)本实用新型所述的一种新型区熔单晶保温装置，通过10-15°的锯齿金属板倾斜角度，可以增大金属板反射的热辐射对单晶的作用区域，降低单晶轴向温度梯度，进而让单晶熔区维持在稳定的结晶状态，有效地改善了单晶断棱或开裂的现象。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的保温装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述的保温装置的侧视图；

图3为本实用新型实施例所述的保温装置使用状态示意图。