[实用新型]一种用于真空器件互联装置有效
申请号: | 201920985745.6 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN209963016U | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 韩志伟;刘晋升;孙立强;史浩 | 申请(专利权)人: | 江苏同威信达技术有限公司 |
主分类号: | H01J7/14 | 分类号: | H01J7/14;H01J7/22 |
代理公司: | 32397 南京勤行知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 吕波 |
地址: | 213200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连接器 连接装置 本实用新型 第一螺孔 保护垫 固定块 螺丝 电子束 螺母 第二螺孔 管道端口 互联装置 螺母连接 螺丝连接 真空传输 真空器件 波纹管 弹簧 | ||
1.一种用于真空器件互联装置,包括连接装置(1)和管道(2),其特征是:所述连接装置(1)与管道(2)端口连接,所述连接装置(1)包括两个连接器(3),所述连接器(3)内侧通过弹簧(4)与保护垫(5)连接,所述保护垫(5)间通过波纹管(6)连接,所述连接器(3)上开有若干第一螺孔(7),所述第一螺孔(7)通过第一螺丝(8)与第一螺母(9)连接,所述连接器(3)外侧安装有固定块(10),所述固定块(10)通过第二螺孔(11)与第二螺丝(12)连接,所述第二螺丝(12)左侧安装有第二螺母(13)。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空器件互联装置,其特征是:所述连接装置(1)和管道(2)连接有上、下、左、右、前5个方向。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空器件互联装置,其特征是:所述连接装置(1)为对称结构。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空器件互联装置,其特征是:所述保护垫(5)依次为橡胶缓冲垫(15)、绝缘材料(16)、密封材料(17)。
5.根据权利要求1所述的一种用于真空器件互联装置,其特征是:所述保护垫(5)内侧配套有螺钉(14)。
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