[实用新型]一种增加劈刀行程治具有效
| 申请号: | 201920983294.2 | 申请日: | 2019-06-27 |
| 公开(公告)号: | CN210073779U | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
| 发明(设计)人: | 郑石磊;郑振军;周春健;许大亮 | 申请(专利权)人: | 江苏和睿半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 11316 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 滑春生 |
| 地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 劈刀 压板本体 本实用新型 开口侧边 拉线 治具 半导体封装技术 矩形开口 框架引脚 梯形柱状 外部扩展 行程轨迹 断刀 辅材 良率 压板 压合 有向 开口 芯片 改进 保证 生产 | ||
本实用新型公开了一种增加劈刀行程治具,它涉及半导体封装技术领域。它包括压板本体和压板本体上开设的窗口;所述压板本体上开设有供劈刀作业的窗口,所述压板本体压合在框架上,框架上具有芯片、框架引脚,以及其上形成的拉线弧,所述窗口的开口侧边形成有向外部扩展的凹槽,凹槽设为梯形柱状,凹槽的长度小于窗口开口侧边长度的三分之一。本实用新型的优点在于:将压板窗口的矩形开口改进为开设有凹槽的开口,增大劈刀行程,使得劈刀的行程轨迹中,拉线弧反向过程中劈刀不会碰撞到治具,避免造成劈刀的断刀异常,保证生产的稳定性,产品的良率提升,减少辅材的损耗。
技术领域
本实用新型涉及半导体封装技术领域,具体涉及一种增加劈刀行程治具。
背景技术
随着IC产品外型持续向更小的尺寸发展,使得每个芯片可以封装更多的电路,这样增加了芯片每单位面积容量,可以降低成本且增加功能。但在降低成本及增加功能的同时,相应增加了封装过程中的难度。封装时会采用到超声焊,超声焊是利用超声波发生器产生的能量,通过换能器在超高频的磁场感应下,迅速伸缩产生弹性振动,使劈刀相应振动,同时在劈刀上施加一定的压力,于是劈刀在这两种力的共同作用下,带动AI丝在被焊区的金属化层如AI膜表面迅速摩擦,使AI丝和AI膜表面产生塑性变形,这种形变也破坏了AI层界面的氧化层,使两个纯净的金属表面紧密接触达到原子间的结合,从而形成焊接。
现有技术中,是通过压板在框架上压合,压板上设有窗口,劈刀通过压板的窗口进行作业,完成焊接,芯片集成,芯片容量及功能变大,随着芯片面积变大,超过或是等同于框架载片台尺寸,造成劈刀拉线弧时在压板内行程受阻,造成焊接线弧异常或无法拉线弧,造成劈刀撞压板边缘导致劈刀断裂的问题。如图1所示,现有技术中压板的窗口为矩形状,窗口的开口处为直线,根据劈刀的行程轨迹,拉线弧反向过程中劈刀会撞到治具,造成断刀异常,影响了生产的稳定性,造成产品良率的下降及一些辅材的损耗。如果将压板的窗口放大,容易造成框架浮动,压不紧产生共振,造成焊点键合不上,报警增多,不可取。现需要提供一种能够增加劈刀行程的治具,在不影响压板压合效果的情况下,保证生产的稳定性,减少辅材损耗。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种增加劈刀行程治具,能够解决现有技术中的劈刀的拉线弧反向过程中会碰撞到治具、造成断刀异常、影响生产稳定性、造成产品良率下降、辅材损耗多等问题。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案为:它包括压板本体和压板本体上开设的窗口;所述压板本体上开设有供劈刀作业的窗口,所述压板本体压合在框架上,框架上具有芯片、框架引脚,以及其上形成的拉线弧,所述窗口的开口侧边形成有向外部扩展的凹槽,凹槽设为梯形柱状,凹槽的长度小于窗口开口侧边长度的三分之一。
进一步的,所述凹槽内部设有与凹槽形状相对应的填补块,所述填补块的侧面具有多个锁定孔,压板本体上窗口的凹槽的内侧设有与锁定孔相对应的锁孔,所述填补块与压板本体通过螺钉穿过锁定孔、锁孔固定,所述填补块的顶部设有固定孔,填补块的顶部还配设有将填补块、压板本体连接的固定连接条,固定连接条上设有两个与填补块顶部的固定孔相对应的固定孔,压块本体上设有与固定连接条上的固定孔相对应的固定孔,固定连接条通过螺钉穿过固定孔将填补块与压板本体连接固定。
采用上述结构后,本实用新型的优点在于:
1、将压板窗口的矩形开口改进为开设有凹槽的开口,增大劈刀行程,使得劈刀的行程轨迹中,拉线弧反向过程中劈刀不会碰撞到治具,避免造成劈刀的断刀异常,保证生产的稳定性,产品的良率提升,减少辅材的损耗;
2、在压板的窗口开设凹槽,而不是直接将压板的窗口放大,可以减小窗口空处的面积,避免框架浮动,保证治具对框架的压合效果,保证焊点的键合效果;
3、在压板窗口的凹槽处设置形状相一致的填补块,在劈刀行程不需要那么大的时候,可以将填补块填补在凹槽处,减少凹槽的面积,减少窗口的空处面积,使得压合效果更好。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





