[实用新型]MEMS麦克风及电子设备有效
| 申请号： | 201920977223.1 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN209949428U | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 邱俊峰 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 振膜 支撑柱 中间部 本实用新型 电容器系统 麦克风 背极板 衬底 大气流 声压 通孔 架设 | ||
1.一种MEMS麦克风，包括MEMS芯片，所述MEMS芯片包括衬底及架设在所述衬底上的电容器系统，所述电容器系统包括具有通孔的背极板及设置于所述背极板两侧的振膜，所述振膜包括第一振膜与第二振膜，所述第一振膜与第二振膜间设有支撑柱，所述支撑柱包括中间部及位于所述中间部两端的端部，其特征在于，所述端部与所述振膜的接触面的面积大于所述中间部沿振膜方向的横截面面积。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一振膜设置于所述背极板上侧，所述第二振膜设置于所述背极板下侧，所述端部包括第一端部与第二端部，所述第一端部与所述第一振膜固定，所述第二端部与所述第二振膜固定。
3.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一端部与所述第一振膜具有第一接触面，所述第二端部与所述第二振膜具有第二接触面，所述第一接触面与所述第二接触面两者中至少一者面积大于所述中间部沿振膜方向的横截面面积。
4.如权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一接触面与所述第二接触面为圆形，所述圆形直径为2微米-3微米。
5.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一端部与所述第二端部形状为圆柱体、长方体、正方体、圆台之一。
6.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑柱材料为绝缘材料。
7.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑柱与所述第一振膜为一体结构或者所述支撑柱与所述第二振膜为一体结构。
8.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一端部与所述第二端部相对于所述背极板对称设置，所述第一端部与所述第二端部在垂直于所述背极板的方向上的长度为1微米-2微米。
9.如权利要求1至7中任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括ASIC芯片，所述MEMS芯片与所述ASIC芯片电连接。
10.一种电子设备，包括如权利要求1-8中任一项所述的MEMS麦克风。
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