[实用新型]一种三轴联动微调平台

说明书

本实用新型公开了一种三轴联动微调平台，所述三轴联动微调平台包括X轴平台、能够沿所述X轴平台长度方向进行运动的Y轴平台以及能够沿所述Y轴平台长度方向进行运动的旋转平台；其中：所述X轴平台包括X轴底座以及能够沿所述X轴底座长度方向进行运动的X轴动子，所述X轴底座为导电体；所述Y轴平台包括Y轴底座以及能够沿所述Y轴底座长度方向进行运动的Y轴动子，所述Y轴底座能够随所述X轴动子同步进行运动，所述Y轴底座为导电体；所述旋转平台包括固定台与位于所述固定台上的若干转动片，所述固定台为永磁体，所述固定台能够随所述Y轴动子同步进行运动，所述转动片能够进行自转。本实用新型微调精度高，调节幅度较广，适用范围较大。

技术领域

本实用新型属于精密机械与仪器技术领域，尤其涉及一种三轴联动微调平台。

背景技术

随着科学技术的发展，在电子、光学、机械制造等众多技术领域中迫切需要高精度、高分辨率、能够灵活控制的微调平台用以直接进行工作或配合其他仪器设备完成高精度定位和测量。

传统的微调平台通常为X、Y双轴微调平台，调节幅度有限，适用范围较小，并且传统的微调平台多为人工操作的方式或由电机驱动的方式进行微调操作，导致调节精度较低，最终将会降低微调平台的调节精度。

实用新型内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种三轴联动微调平台，微调精度高，调节幅度较广，适用范围较大。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种三轴联动微调平台，所述三轴联动微调平台包括X轴平台、能够沿所述X轴平台长度方向进行运动的Y轴平台以及能够沿所述Y轴平台长度方向进行运动的旋转平台；其中：所述X轴平台包括X轴底座以及能够沿所述X轴底座长度方向进行运动的X轴动子，所述X轴底座为导电体；所述Y轴平台包括Y轴底座以及能够沿所述Y轴底座长度方向进行运动的Y轴动子，所述Y轴底座能够随所述X轴动子同步进行运动，所述Y轴底座为导电体；所述旋转平台包括固定台与位于所述固定台上的若干转动片，所述固定台为永磁体，所述固定台能够随所述Y轴动子同步进行运动，所述转动片能够进行自转。

本实用新型一个较佳实施例中，所述X轴底座、Y轴底座以及转动片上均设置有电连接件。

本实用新型一个较佳实施例中，所述X轴动子与所述Y轴动子均为永磁体，所述转动片为导电体。

本实用新型一个较佳实施例中，所述X轴底座上设置有X轴导轨，所述X轴动子位于所述X轴导轨上且能够沿所述X轴导轨长度方向进行直线往复运动。

本实用新型一个较佳实施例中，所述Y轴底座上设置有Y轴导轨，所述Y轴动子通过若干滑动块与所述Y轴导轨连接。

本实用新型一个较佳实施例中，所述固定台为圆柱形结构体，所述转动片数量为两个且为扇形结构体，所述转动片与所述固定台为同轴设置。

本实用新型一个较佳实施例中，所述固定台上设置有限位块，所述限位块能够对所述转动片转动角度进行限定。

本实用新型一个较佳实施例中，所述X轴底座与所述Y轴底座两端均设置有限位板。

本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

本实用新型在X轴平台、Y轴平台以及旋转平台的配合作用下，由于导电体在磁场内受到磁场力作用，通过改变对应电流的大小，能够对X轴动子、Y轴动子以及转动片进行位置调整，实现各部位的微调操作，由于导电体内是否通入电流是可控的，故而本实用新型可通过控制导电体是否通电，进而对X轴平台、Y轴平台、旋转平台三者分别进行控制，本实用新型能够分别对X轴平台、Y轴平台、旋转平台进行微调操作，从而微调精度高，调节范围广，适用性较强。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；