[实用新型]一种晶片加工用存取装置有效
申请号: | 201920977038.2 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN209804623U | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 葛文志 | 申请(专利权)人: | 浙江嘉美光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L33/00 |
代理公司: | 33260 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 张瑜 |
地址: | 314423 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 放置盘 固定杆 大齿轮 小齿轮 转轮 本实用新型 向上移动 传动杆 固定管 活动管 推环 转动 传动杆转动 存取装置 电动推杆 电机带动 滑动连接 密封垫圈 啮合连接 配合连接 凸轮旋转 凸轮转动 顶盖 存放盘 存取箱 放置槽 固定块 固定框 活动臂 连接板 密封槽 片加工 支撑板 底座 晶片 取放 套接 销轴 种晶 电机 | ||
1.一种晶片加工用存取装置,其特征在于:包括底座(1)以及密封装置和存取装置;
所述密封装置包括固定安装在底座(1)一端的电动推杆(2)和电机(11),所述电动推杆(2)的输出端通过转轴转动连接活动臂(3)的一端,所述活动臂(3)的一端固定连接固定块(4),所述固定块(4)的一端固定连接顶盖(7),所述顶盖(7)的两端均通过销轴(6)转动连接连接板(5)的一端,所述连接板(5)固定连接在存取箱(10)的顶端;
所述存取装置包括套接在电机(11)输出端的大齿轮(101),所述大齿轮(101)套接小齿轮(13),所述小齿轮(13)套接在传动杆(14)的一端,所述存取箱(10)的内部固定连接固定框(12),所述固定框(12)的顶端固定连接固定管(18),所述固定管(18)的顶部固定连接固定杆(19),所述固定杆(19)的侧壁套接放置盘(21),所述放置盘(21)的一端内部开有放置槽(23),所述放置槽(23)的内部固定连接存放盘(24)。
2.根据权利要求1所述的一种晶片加工用存取装置,其特征在于:所述传动杆(14)的一端套接三个凸轮(15),且凸轮(15)与传动杆(14)均转动连接在固定框(12)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种晶片加工用存取装置,其特征在于:所述顶盖(7)的一端开有密封槽(8),且密封槽(8)的内部卡合连接密封垫圈(9),密封垫圈(9)固定连接在存取箱(10)的顶端一侧。
4.根据权利要求1所述的一种晶片加工用存取装置,其特征在于:所述放置盘(21)的一端固定连接两个支撑板(22),且两个支撑板(22)对称分布在放置盘(21)的一端两侧,相邻两个放置盘(21)通过支撑板(22)分隔。
5.根据权利要求1所述的一种晶片加工用存取装置,其特征在于:所述固定管(18)的内部套接活动管(17),且活动管(17)的底端固定连接转轮(16),且转轮(16)的底端与凸轮(15)配合连接。
6.根据权利要求5所述的一种晶片加工用存取装置,其特征在于:所述活动管(17)的两端均开有卡槽,且卡槽的内部滑动连接固定杆(19)的底端,活动管(17)与固定杆(19)套接,固定杆(19)的一端固定连接推环(20),推环(20)套接在固定杆(19)的外侧并抵紧放置盘(21)的底端。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江嘉美光电科技有限公司,未经浙江嘉美光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920977038.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种交接装置、半导体设备以及半导体生产线
- 下一篇:一种晶圆搬运机械手
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造