[实用新型]多工位双面处理系统

权利要求书

1.一种多工位双面处理系统，其特征在于，包括移载装置、处理装置，所述移载装置包括移载工位组及防尘罩，所述防尘罩环绕所述移载工位组设置，所述移载工位组至少包括沿第一方向依次排列的入料工位、第一等待工位、第二等待工位及出料工位，所述处理装置包括处理工位组，所述处理工位组包括沿第一方向依次排列的第一处理工位及第二处理工位，所述第一处理工位连接所述第一等待工位，所述第二处理工位连接所述第二等待工位。

2.根据权利要求1所述的多工位双面处理系统，其特征在于，所述第一处理工位与所述第一等待工位之间设有第一传输部，所述第二处理工位与所述第二等待工位之间设有第二传输部，所述第一传输部及所述第二传输部的传送方向垂直于第一方向。

3.根据权利要求1所述的多工位双面处理系统，其特征在于，所述防尘罩形成一半封闭容纳腔，所述防尘罩包括对应入料工位的进料口、对应出料工位的出料口及观察窗口，所述观察窗口位于所述移载工位组远离所述处理工位组的一侧。

4.根据权利要求3所述的多工位双面处理系统，其特征在于，所述移载装置还包括连通所述容纳腔的风机过滤机组，所述防尘罩还包括出风口。

5.根据权利要求4所述的多工位双面处理系统，其特征在于，所述风机过滤机组设置于所述防尘罩的顶部，所述出风口位于所述防尘罩的下方。

6.根据权利要求1所述的多工位双面处理系统，其特征在于，所述处理装置还包括环绕所述处理工位组设置的罩体，所述防尘罩与所述罩体相连。

7.根据权利要求1所述的多工位双面处理系统，其特征在于，所述移载装置还包括机械手组，所述机械手组位于所述防尘罩内。

8.根据权利要求7所述的多工位双面处理系统，其特征在于，所述处理系统用于处理工件，所述工件包括相对设置的第一待处理面及第二待处理面，所述入料工位用于输入工件，所述第一等待工位用于放置第一待处理面朝上的工件，所述第二等待工位用于放置第二待处理面朝上的工件，所述出料工位用于输出工件，所述机械手组包括至少两个机械手，所述机械手组用于工件的翻转及工件在多个工位之间的移动，且任一机械手的最大位移量为两个相邻工位。

9.根据权利要求1所述的多工位双面处理系统，其特征在于，所述处理系统为曝光系统、光学检测系统或喷印系统。

10.根据权利要求1所述的多工位双面处理系统，其特征在于，所述处理系统为曝光系统，所述处理装置还包括曝光机头，所述曝光机头在第一处理工位及第二处理工位之间移动。