[实用新型]蚀刻用上部电极

说明书

本实用新型公开了一种蚀刻用上部电极，包括母材，所述母材上具有均匀分布的安装孔，所述安装孔竖直设置，且贯穿母材的上下表面，所述安装孔内以螺纹配合方式安装有陶瓷管，所述陶瓷管具有沿轴向设置的气孔，所述气孔上下两端敞口，所述陶瓷管覆盖安装孔的内孔壁，且陶瓷管与安装孔的下端齐平。利用陶瓷管替代传统的氧化绝缘及熔射工艺，避免出现涂层分离，产生颗粒粉尘等问题，延长母材使用寿命，同时提高上部电极的拆装效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种蚀刻用上部电极。

背景技术

等离子气体喷射蚀刻装置主要用于蚀刻玻璃基板，现有技术在蚀刻过程中，玻璃基板位于操作平台上，通过气体喷射蚀刻使得玻璃表面形成细小回路，气体喷射通常依靠上部电极完成，现有上部电极板主要由母材构成，在母材上设气孔，并对母材表面进行氧化绝缘处理，及对气孔进行熔射处理，形成两层保护，然而上述的两种涂层边界在长时间工作后容易发生边界分离或颗粒脱落等问题，其次气孔内壁附着力低的涂层也容易脱落产生粉尘颗粒，并且，在熔射前的喷砂处理过程中，表面的阳极氧化层也极易受到破坏，严重时甚至会导致电弧击穿等问题发生，当一个气孔遭到破坏时，则难以保证喷气的均匀性，需要将整块上部电极板进行更换，大大增加了耗材成本，同时，气孔产生的颗粒粉尘也会降低蚀刻成品的质量。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种蚀刻用上部电极，以延长上部电极的使用寿命，同时防止蚀刻过程中产生粉尘颗粒，提高蚀刻成品质量。

为实现上述目的，本实用新型技术方案如下：

一种蚀刻用上部电极，包括母材，其关键在于：所述母材上具有均匀分布的安装孔，所述安装孔竖直设置，且贯穿母材的上下表面，所述安装孔内以螺纹配合方式安装有陶瓷管，所述陶瓷管具有沿轴向设置的气孔，所述气孔上下两端敞口，所述陶瓷管覆盖安装孔的内孔壁，且陶瓷管与安装孔的下端齐平。

采用以上结构，通过陶瓷管形成气孔，替代传统的氧化绝缘及熔射工艺，从而避免气孔壁脱落产生粉尘颗粒等问题，蚀刻完成之后，也不用进行清洗操作，即使局部陶瓷管异常时，只需局部更换即可，母材则可持续使用，相对延长了母材的使用寿命，且陶瓷管与安装孔螺纹配合，可大大提高拆装效率，特别便于后期保养更换。

作为优选：所述陶瓷管上端端部具有水平向外延伸的翻边，所述翻边与母材的下表面紧贴。采用上述方案，可对安装孔上端周围的母材表面进行保护，形成绝缘保护区域，弱化蚀刻过程中对母材表面的损伤，同时可对陶瓷管与安装孔的螺纹配合部位起到保护作用，防止蚀刻气体侵入螺纹间隙中，对母材造成损伤，导致连接不稳定、或寿命缩短等问题发生。

作为优选：所述安装孔与陶瓷管之间的配合面内填充有胶水。采用以上方案，首先提高了陶瓷管安装的稳定性，防止运输或安装导致陶瓷管松动，其次可对二者螺纹配合的间隙进行堵塞密封，防止有蚀刻气体侵入，对母材造成损伤。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

采用本实用新型提供的蚀刻用上部电极，利用陶瓷管替代传统的氧化绝缘及熔射工艺，避免出现涂层分离，产生颗粒粉尘等问题，延长母材使用寿命，同时提高上部电极的拆装效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为母材结构示意图；

图3为陶瓷管结构示意图。

具体实施方式

以下结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明。