[实用新型]一种VCR穿板接头固定装置

说明书

一种VCR穿板接头固定装置，包括方形板、开设在所述方形板中心位的六边形穿孔和设置在方形板四角的螺孔，所述六边形穿孔的上边边缘上方开设有上凹槽，与上边边缘对称的下边边缘下方开设有下凹槽，所述上凹槽和下凹槽内均设置有多个柱体，所述柱体的一端固定在凹槽内，柱体的尾端伸向六边形穿孔的中心，靠近尾端部分还设置有加固板，所述加固板上开设有多个供柱体通过的通孔，加固板的两端固定在凹槽内壁上，柱体的尾端设置有托板，所述托板的上平面设置有多个与柱体尾端相对应的凹陷部。本实用新型加工工艺简单、价格低廉、操作方便，克服了连接管道时单方向用力把管道拧成麻花状，造成管子报废的问题。

技术领域

本实用新型属于半导体材料生产技术领域，具体涉及一种VCR穿板接头固定装置。

背景技术

半导体硅抛光片生产过程中有一道重要的工艺就是背封工艺。有一种背封工艺就是采用低压化学气象淀积（LPCVD）原理在硅片背面生长一层二氧化硅或多晶硅薄膜。执行该背封工艺主流设备有一种是低压卧式背封炉。工作原理即将硅片放入石英管内，用真空泵对炉管进行抽气，制造真空环境然后再通入气体，并通过蝶阀的开合角度控制石英管内的压力。适当的气体配合适当的温度在特定的压力环境下进行反应，在硅片背面生成一层二氧化硅或多晶硅薄膜。

在生产过程中需要使用多种特殊气体例如，氧气、氮气、硅烷等等。这些气体一般用电抛光管传输，管子之间采用VCR接头进行连接。在配置特气管道的过程中，管道经常要穿过不锈钢板。穿过不锈钢板时，首先将一个接头固定在钢板上，接头两端分别连接管道，如果没有合适的固定接头的工具，接头不能被牢固地固定在钢板上，连接管道时单方向用力很容易把管道拧成麻花状，造成管子报废。

实用新型内容

本实用新型的目的是为解决上述问题，提供一种VCR穿板接头固定装置。

本实用新型的技术方案是：一种VCR穿板接头固定装置，包括方形板、开设在所述方形板中心位的六边形穿孔和设置在方形板四角的螺孔，所述六边形穿孔的上边边缘上方开设有上凹槽，与上边边缘对称的下边边缘下方开设有下凹槽，所述上凹槽和下凹槽内均设置有多个柱体，所述柱体的一端固定在凹槽内，柱体的尾端伸向六边形穿孔的中心，靠近尾端部分还设置有加固板，所述加固板上开设有多个供柱体通过的通孔，加固板的两端固定在凹槽内壁上，柱体的尾端设置有托板，所述托板的上平面设置有多个与柱体尾端相对应的凹陷部。

进一步优化，所述方形板、加固板和托板采用不锈钢材料加工而成，且方形板1的表面经过抛光处理。

进一步优化，所述六边形穿孔为正六边形孔洞。

进一步优化，所述柱体采用弹性胶体材料加工而成。

进一步优化，所述方形板的上边缘两端向外侧延伸设置有键位槽，托板的两端嵌入所述键位槽内，托板的高度小于键位槽，托板两端在键位槽内上下自由移动。

进一步优化，所述托板的长度大于加固板。

本实用新型的有益效果为：

一、方形板中心位的六边形穿孔大小与VCR穿板接头中间的正六边形尺寸一致，将不锈钢板套在VCR穿板接头上，钢片的四角有四个孔，通过不锈钢片四角的孔用螺丝将不锈钢板固定，再用螺帽将VCR穿板接头固定紧，此时连接管道时，VCR穿板接头是不会旋转的，避免了连接管道时单方向用力把管道拧成麻花状，造成管子报废的问题；

二、上凹槽和下凹槽内设置有柱体，该柱体的材质为橡胶弹性体，采用加固板将柱体下部固定，防止因材质较软来回摆动，在柱体尾端设置托板，托板上的凹陷部用于托住柱体，柱体的弹性特点有助于帮助VCR接头的嵌套，防止因方形板材质过硬导致嵌套困难，托板的两端嵌入键位槽内，该键位槽一方面有助于固定托板，另一方面在嵌套VCR接头时，托板可以在键位槽内小空间内上下自由移动，从而给予VCR接头安装时更多的空间，方便VCR接头嵌套在六边形穿孔内；