[实用新型]一种改进的废剥离液再生装置

说明书

本实用新型涉及化工技术领域，更具体地涉及到在精制塔的塔顶馏出液罐与塔侧馏出液罐之间增设联通出料管道的一种改进的废剥离液再生装置。其包括除渣系统、除轻组分系统和精制系统，所述除渣系统、除轻组分系统和精制系统由管道依次连通，所述精制系统包括精制塔、第二再沸器、第二冷凝器、第二气液分离罐、精制塔顶馏出液罐和精制塔侧馏出液罐，所述精制塔顶馏出液罐与精制塔侧馏出液罐之间由联通出料管道连通出料至剥离液成品储罐，将原来将塔顶出料采出至蒸发器的管道直接接至精制塔的塔侧，减少物料重制和能源消耗，降低了系统运行负担和处理量，提高了设备的利用效率，出料产品的品质更高，剥离液产品得率比精制塔的塔顶和塔侧没有联通提高了5‑10％。

技术领域

本实用新型涉及化工技术领域，更具体地涉及到在精制塔的塔顶馏出液罐与塔侧馏出液罐之间增设联通出料管道的一种改进的废剥离液再生装置。

背景技术

在半导体、液晶显示器、有机及无机显示器的制造中，大多使用光刻的技术。光刻胶是一种主要由树脂、感光化合物、添加剂、溶剂组成的组合物，各组分含量大约为：(1)树脂含量10～40％；(2)感光剂含量1～6％；(3)溶剂含量50～90％，添加剂含量一般在1％以下。线性酚醛树脂为成膜树脂，通过涂布工艺在喷溅金属的玻璃基材表面形成树脂涂层，利用光刻工艺，在涂层上“印制”线路。感光剂(photo-active compound，简称PAC)采用邻重氮萘(diazo-naphthoquinone，简称为DNQ)磺酸酯，利用PAC在感光和非感光部分不同的反应，得到所需的图形。溶剂和添加剂，溶剂作用是得到均匀的稀释液体，以便涂布时有良好的流动性，形成表面均一平整的膜；添加剂含量很小，目地是改善附着性，增加感度，改善表面成膜性等。工业上所使用的光刻胶剥离液主要是有机胺和极性有机溶剂的组合物，还含有少量以水分为代表的轻组分，通过溶胀和溶解方式剥离除去光刻胶。上述机胺可包括单乙醇胺(MEA)，二甲基乙酰胺(DMAC)，N-甲基甲酰胺(NMF)，N-甲基二乙醇胺(MDEA)等。上述极性有机溶剂可包括二乙二醇甲醚(DGME)，二乙二醇单丁醚(BDG)，二甲亚砜(DMSO)，羟乙基哌嗪(NEP)等。在涂胶工艺中，有直接刮涂Slit方式(Spin less)和刮涂、甩胶相结合的Slit+Spin方式。上述两种方式由于涂胶量的限制，都需要使用大量的稀释液(剥离液)和光刻胶对涂胶设备进行冲洗工作。后续还需要光刻蚀和去除光刻胶步骤，这样在TFT-LCD的生产过程中，光刻胶剥离液大量使用的同时也产生大量光刻胶剥离液废液。该废液中除了含有少量高分子树脂(或PR胶)和水之外，大部分是有再利用价值的有机组分，尤其是含有良好溶解性的有机溶剂或碱性溶液。

因此，采用合适的工艺将废剥离液中的杂质组分去除，并回收和保留有效成分，使其重新构成符合标准的剥离液，减轻环境污染和企业生产成本非常重要。

中国发明专利CN201310473524.8“抗蚀剂剥离液的再生方法以及再生装置”采用三塔依次进行低沸点分离工序、高沸点分离工序和精制工序连续操作。中国实用新型专利CN201820704701.7“一种剥离液再生装置”提供了一种包含剥离液废液熔炼池、一级膜过滤池、脱水精馏塔、薄膜蒸发器和脱色精馏塔的剥离液再生装置，依次进行金属离子分离、脱水处理、脱色纯化和冷凝回收剥离液提纯品。中国发明专利申请201810804183.0“一种废剥离液再生装置及应用”公开了一种在脱氢塔塔釜或产品塔塔釜出料管道上设置刮膜式蒸发器的废剥离液再生装置，通过两塔分离流程，将废剥离液中的轻组分、重组分和金属离子去除，得到精制的合格剥离液。

以上现有技术中，中国发明专利CN201310473524.8需要三塔连续操作，设备投资和占地面积都很大，操作过程复杂。中国实用新型专利CN201820704701.7操作工艺繁琐，各工序条件不易控制，影响产品的稳定性，且一级膜过滤池内的中空纤维膜组件等零件的检修和更换成本高，导致废剥离液再生的成本升高。中国发明专利申请201810804183.0为液相进料，原料先经脱轻塔除轻，然后送至二塔精制出成品，之后再将残液回收至薄膜蒸发器除渣，由于此工艺中脱轻塔和二塔中的物料纯净度不够，导致成品的品质得不到保障。

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