[实用新型]一种真空泵的冗余配置结构有效
| 申请号： | 201920954884.2 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN210068505U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 王向荣;沙宏磊;俞天野;何毅;张志华;孙吉松;孟翠;沙佩亮 | 申请（专利权）人： | 浙江飞旋科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D17/12 | 分类号： | F04D17/12;F04D25/16;F04D29/42;F04D27/00 |
| 代理公司： | 12211 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戴文仪 |
| 地址： | 311400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空泵 二级进气管 出气管 出气口 进气口 本实用新型 二级真空泵 一级进气管 进气支管 冗余配置 匹配 真空泵出气口 发生故障 连通 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空泵的冗余配置结构，其特征在于：包括一级进气管(1)和二级进气管(5)，一级进气管(1)设有第一进气口和数个第一出气口，每一个第一出气口匹配有一第一出气管(2)，每一个第一出气管(2)设有一级真空泵(3)；所述二级进气管(5)设有和一级真空泵(3)匹配的第二进气口，所述第二进气口匹配有进气支管(4)，所述一级真空泵(3)出气口和其匹配的进气支管(4)连通；所述二级进气管(5)设有数个第二出气口，每一个第二出气口匹配有一第二出气管(6)，每一个第二出气管(6)设有二级真空泵(7)。
2.根据权利要求1所述的一种真空泵的冗余配置结构，其特征在于：所述一级真空泵(3)数量和二级真空泵(7)数量相同。
3.根据权利要求1或2所述的一种真空泵的冗余配置结构，其特征在于：所述一级真空泵(3)及二级真空泵(7)为磁悬浮透平真空泵。
4.根据权利要求1所述的一种真空泵的冗余配置结构，其特征在于：所述第一出气管(2)以及第二出气管(6)各自设有截止阀。
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