[实用新型]一种背光源的光学检测设备

权利要求书

1.一种背光源的光学检测设备，包括镜筒(1)，其特征在于，所述镜筒(1)的下端设置有外框(2)，所述外框(2)的内侧一端设置有滑动槽(7)，所述滑动槽(7)的一侧设置有载物台(3)，所述载物台(3)的上端设置有聚光器(6)，所述镜筒(1)的底端安装有镜头(8)，所述外框(2)的一侧设置有CCD相机(9)，且外框(2)的另一侧安装有二次电子探头(4)，所述载物台(3)的底端安装有次台螺旋(5)。

2.根据权利要求1所述的一种背光源的光学检测设备，其特征在于，所述镜筒(1)的内侧设置有电子枪(101)，所述电子枪(101)的下端设置有第一聚光镜(103)，所述第一聚光镜(103)与电子枪(101)之间设置有射线矫正线圈(102)，所述第一聚光镜(103)的下端设置有物镜光缆(105)，所述物镜光缆(105)与第一聚光镜(103)之间安装有第二聚光镜(104)，所述镜头(8)的内侧设置有偏转线圈(106)，且镜头(8)的外侧安装有背散射电子探头(107)，所述聚光器(6)的上端安装有背光源板(108)。

3.根据权利要求1所述的一种背光源的光学检测设备，其特征在于，所述次台螺旋(5)与载物台(3)转动连接，所述滑动槽(7)与载物台(3)滑动连接，所述二次电子探头(4)、CCD相机(9)外接电源，所述镜头(8)与镜筒(1)贯通连接。

4.根据权利要求2所述的一种背光源的光学检测设备，其特征在于，所述偏转线圈(106)、背散射电子探头(107)外接电源，所述电子枪(101)与射线矫正线圈(102)电连接，所述物镜光缆(105)与第二聚光镜(104)、第一聚光镜(103)电连接。

5.根据权利要求1所述的一种背光源的光学检测设备，其特征在于，所述外框(2)外接显示屏，所述聚光器(6)的下端安装有反光板。

6.根据权利要求1所述的一种背光源的光学检测设备，其特征在于，所述聚光器(6)为有机玻璃材质构件，所述外框(2)为铸铁材质构件。

7.根据权利要求2所述的一种背光源的光学检测设备，其特征在于，所述第二聚光镜(104)与物镜光缆(105)的外侧套接有滑动环，所述背散射电子探头(107)的侧端设置有转轴。