[实用新型]一种进气装置

说明书

本实用新型公开了一种进气装置，包括主管和外套管，主管包括进气口和出气口，主管内侧形成气体流通通道；外套管包括进气口和出气口，外套管套在主管外形成气体流通层。本实用新型提供了一种结构简单、对外只要一个进气孔的气体流通的一种进气装置。

技术领域

本实用新型涉及进气装置领域，更具体的说，它涉及一种设备的进气装置。

背景技术

目前传统的LPCVD，扩散，氧化，CVD，APCVD等设备的进气装置在使用过程中需要不断的进气，且为了更好地实现进气均匀、稳定，能很好的保证后续加工的稳定性，设备主体是采用双侧进气的方式，即通过设置两个进气孔进行气体运输。此设置是解决了不同气体进入的方式，但是同样增加了整体设备的体积和结构的改良要求。

发明内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单、对外只要一个进气孔的气体流通的一种进气装置。

本实用新型的技术方案如下：

一种进气装置，包括主管和外套管，主管包括进气口和出气口，主管内侧形成气体流通通道；外套管包括进气口和出气口，外套管套在主管外形成气体流通层。

进一步的，还包括进气管，进气管与外套管的进气口连接。

进一步的，进气管的轴径与主管的轴径垂直。

进一步的，主管和外套管之间通过焊接连接固定，且都采用耐高温材质。耐高温材质采用石英、不锈钢、氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、碳化硅、铜等材料中的一种或多种。

进一步的，还包括支撑块，支撑块设置在气体流通层内。

进一步的，支撑块设置在进气管远离主管连接设备的一侧。

进一步的，支撑块设置至少三块，且均匀分布。

进一步的，外套管采用多层套管，层与层之间形成气体流通层。

进一步的，主管和外套管之间通过弧形部连接，弧形部整体呈环形状，其内径越靠近内层的主管就越小。

进一步的，进气管数量与套管层数相同，且多个进气管之间交错设置。

本实用新型的优点在于：

1.本方案结构简单、对外只要一个进气孔、整体体积较小，设备改动少，整体成本低的一种进气装置。

2.本方案多层套管分别由不同管径大小的石英管焊接而成，管路与管路之间实现相互隔开互不干扰。

3.本方案多层套管尾端焊有三个支撑块，可以有效地增强内管的强度使其不易在加工或运输中因震动而断裂。

4.本方案多层套管的设计将多路进气隔开让两路进气不在垂直方向交汇，进气互不干扰，气流更加顺畅，从而对气体流量控制更加准确。

附图说明

图1为本实用新型的示意图；

图2为本实用新型的部分剖面图。

图中标识：主管1、进气管2、气体流通层3、支撑块4、弧形部5和外套管6。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例一：