[实用新型]一种便于测试硅单晶参数的工装设备

说明书

本实用新型提供一种便于测试硅单晶参数的工装设备，包括基座、承托板、底板和至少一组限位组件，底板设于基座上，底板与承托板转动连接，限位组件设于承托板上，且限位组件与承托板可相对转动，承托板与底板平行设置。本实用新型的有益效果是结构简单，加工成本低，具有可以相对转动的承托板和底板，使得硅单晶能够沿着竖直轴转动，具有至少两个限位件，对硅单晶进行支撑，同时使得硅单晶能够沿着水平轴线自由转动，减轻现场工人劳动力度，操作简单，减少工时浪费，提高了员工工作效率。

技术领域

本实用新型属于单晶生产设备技术领域，尤其是涉及一种便于测试硅单晶参数的工装设备。

背景技术

圆棒检验会对每一段单晶进行电阻率、导电型号、寿命测试，由于每段圆棒单晶重量不一，标棒大约60kg，测试电参数时，会将单晶圆棒两端交替检测，因此，需要人员不断的搬动单晶硅棒进行检测，每天过检段数约151424段，单晶检验数量庞大，由于车间推行少人化、高效化工作标准，导致每个单晶检验人员工作量大，承受负荷大，员工极易产生疲劳及身体危害。

目前圆棒检验是通过人员搬运，将待测物放至平整的桌面上，之后进行测量单晶圆棒的电学参数时，每段单晶会测两个端面，需要员工测完一边后，再搬起单晶测另一端，测试每项参数重复动作两次。浪费人力成本及增加劳动量。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型要解决的问题是提供一种便于测试硅单晶参数的工装设备，尤其适合硅单晶参数测量，具有相对转动设置的底板和承托板，便于在测量硅单晶参数时硅单晶沿着竖直轴转动，具有限位件，便于在测量硅单晶参数时硅单晶沿着水平轴转动。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种便于测试硅单晶参数的工装设备，包括基座、承托板、底板和至少一组限位组件，底板设于基座上，底板与承托板转动连接，限位组件设于承托板上，且限位组件与承托板可相对转动，承托板与底板平行设置。

进一步的，每组限位组件包括至少两个限位件，两个限位件均设于承托板上，两个限位件均与承托板转动连接，且两个限位件平行设置。

进一步的，两个限位件之间的间距最大值与硅单晶的直径相适应。

进一步的，限位件包括固定件和转动件，固定件与承托板固定连接，转动件与固定件转动连接，固定件设于转动件的两端。

进一步的，承托板一侧面设有第一转动件，底板一侧面设有第二转动件，第一转动件与第二转动件通过转动连接件转动连接。

进一步的，转动连接件为轴承。

进一步的，转动连接件为轴套。

进一步的，承托板一侧面设有第一转动件，底板一侧面设有第二转动件，第一转动件与第二转动件套和转动连接。

进一步的，转动件为托辊。

进一步的，托辊外表面设有耐磨层。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，使得便于测试硅单晶参数的工装设备结构简单，加工成本低，具有可以相对转动的承托板和底板，使得硅单晶能够沿着竖直轴转动，具有至少两个限位件，对硅单晶进行支撑，同时使得硅单晶能够沿着水平轴线自由转动，进行硅单晶表面不同位置的参数的测试，减轻现场工人劳动力度，达到高效工作，同时可以避免不必要的人员伤害，减少产品浪费及人员伤亡，极大降低人力成本，提高了产品检验效率，操作简单，减少工时浪费，提高了员工工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的主视结构示意图；

图2是本实用新型的一实施例的俯视结构示意图；

图3是本实用新型的一实施例的侧视结构示意图；