[实用新型]一种玻璃面板溅射清洁处理装置

权利要求书

1.一种玻璃面板溅射清洁处理装置，其特征在于，包括工作台(1)、真空室(2)、靶材(3)、玻璃面板(4)和溅射枪(5)，所述工作台(1)的顶端固定有所述真空室(2)，所述真空室(2)的内部顶端固定有靶材(3)，所述靶材(3)的底端连接有所述溅射枪(5)，所述真空室(2)的内部底端固定有固定框(6)，所述固定框(6)的中部为镂空结构，所述固定框(6)的顶端固定有所述玻璃面板(4)，所述固定框(6)的下方一侧边固定有电机(7)，所述电机(7)的输出轴与转轴(8)连接，所述转轴(8)远离所述电机(7)的一端与连接板(9)的中部连接，所述连接板(9)的一端与连接杆一(10)的一端连接，所述连接杆一(10)的另一端与连接杆三(11)的一端连接，所述连接板(9)的另一端与连接杆二(12)的一端连接，所述连接杆二(12)的另一端与连接杆四(13)的一端连接，且所述连接杆三(11)和所述连接杆四(13)均与所述固定框(6)的两侧活动连接，所述连接杆三(11)和所述连接杆四(13)的表面均固定有卡口(14)。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃面板溅射清洁处理装置，其特征在于，所述固定框(6)的底端边角处均固定有支撑柱(15)，所述支撑柱(15)的顶端固定有滑块(16)。

3.根据权利要求2所述的一种玻璃面板溅射清洁处理装置，其特征在于，所述真空室(2)的内部底端两侧边与所述滑块(16)相对应的位置对称固定有与所述滑块(16)相适配的滑槽(17)。

4.根据权利要求3所述的一种玻璃面板溅射清洁处理装置，其特征在于，所述滑块(16)的一侧边固定有驱动气缸(18)。

5.根据权利要求1所述的一种玻璃面板溅射清洁处理装置，其特征在于，所述工作台(1)的外部一侧边固定有控制按钮(19)，且所述控制按钮(19)与所述电机(7)控制连接。

6.根据权利要求1所述的一种玻璃面板溅射清洁处理装置，其特征在于，所述真空室(2)的外部一侧边连接有惰性气体入口。

7.根据权利要求1所述的一种玻璃面板溅射清洁处理装置，其特征在于，所述工作台(1)的底端边角处均固定有支撑腿(20)，所述支撑腿(20)的底端固定有防滑垫板(21)。

8.根据权利要求1所述的一种玻璃面板溅射清洁处理装置，其特征在于，所述连接板(9)的两端与所述连接杆一(10)和所述连接杆二(12)之间均通过活动栓活动连接，所述连接杆一(10)与所述连接杆三(11)之间、所述连接杆二(12)与所述连接杆四(13)之间通过活动栓连接。