[实用新型]一种高灵敏度人工等离激元传感器

权利要求书

1.一种高灵敏度人工等离激元传感器，其特征在于，包括介质基板(1)、介质基板(1)的正面设有微带波导结构，背面设有金属地(2)，微带波导结构上方铺设有待测介质薄膜(3)；所述的微带波导结构包括金属微带(4)，金属微带(4)的中部为人工表面等离激元段(5)，人工表面等离激元段(5)的两侧对称设置有局域型人工等离激元体(6)。

2.根据权利要求1所述的高灵敏度人工等离激元传感器，其特征在于，所述的人工表面等离激元段(5)两侧边缘均分布有周期性排列的方槽(7)，方槽(7)沿人工表面等离激元段(5)长度方向的中线对称。

3.根据权利要求2所述的高灵敏度人工等离激元传感器，其特征在于，所述的方槽(7)的边长a₁为0.05～1.0mm，方槽(7)的周期p为0.1～2.0mm。

4.根据权利要求1所述的高灵敏度人工等离激元传感器，其特征在于，所述的局域型人工等离激元体(6)包括椭圆等离激元体(8)，椭圆等离激元体(8)的周向上分布有扇形凹槽(9)。

5.根据权利要求4所述的高灵敏度人工等离激元传感器，其特征在于，所述的椭圆等离激元体(8)的椭圆边满足曲线方程：X²/a²+Y²/b²＝1；其中，a,b分别为椭圆长轴、短轴半径参数，a为1～16，b为0.8～14；

所述的扇形凹槽(9)的心角θ为5°～25°。

6.根据权利要求4所述的高灵敏度人工等离激元传感器，其特征在于，所述的椭圆等离激元体(8)与人工表面等离激元段(5)间设有耦合间隙(10)。

7.根据权利要求6所述的高灵敏度人工等离激元传感器，其特征在于，所述的耦合间隙(10)的间隙β为0.03～1.0mm，耦合间隙(10)的长度l为1～15mm。

8.根据权利要求1所述的高灵敏度人工等离激元传感器，其特征在于，待测介质薄膜(3)为对有毒气体吸附敏感的介质薄膜。