[实用新型]一种提拉法晶体生长设备用冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，包括支撑座、籽晶杆和冷却套，在周向阵列分布的滑轨、压头、滑动柱、滑套和弹簧的作用下可以压紧籽晶杆，减缓籽晶杆的晃动进而保证了晶体的生产质量，同时由于压头内设置有球头安装座和球头，所以在压紧的过程中并不会影响籽晶杆作旋转运动；在循环泵的作用下使储液箱内的冷却液在冷却管内循环流动，螺旋形的冷却管可以增大冷却面积提高冷却效果，进而提高了籽晶杆的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备领域，特别是涉及一种提拉法晶体生长设备用冷却装置。

背景技术

直拉单晶制造法是一种常见的从熔体种提拉生长高质量晶体的方法，该方法可以用于生产无色蓝宝石、红宝石、钇铝榴石、钆镓榴石、变石和尖晶石等重要的宝石晶体。其基本原理如下：是把原料多硅晶块放入石英坩埚中，在炉中加热融化，在熔体表面接籽晶提拉熔体，在一定条件下，使籽晶和熔体在交界面上不断进行原子或者分子的重新排列，随着温度逐渐凝固而生长出晶体，在熔化和凝固的过程中，需要提拉设备不断的提拉和旋转，才能达到符合晶体生长的条件。

现有的提拉法晶体生长设备工作时由于籽晶杆会作提拉旋转运动，会在生产过程中晃动，籽晶杆的晃动会出现产品不良的情况，且现有的冷却套结构简单冷却效果不好，进而降低了籽晶杆的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，包括支撑座、籽晶杆和冷却套，所述冷却套通过连接件与支撑座底部固连，籽晶杆依次穿过支撑座和冷却套，其特征在于，所述籽晶杆位于冷却套内腔部分的外侧设置有冷却管，冷却管固定安装于冷却套内壁，冷却管的两个管口穿出冷却套侧壁分别与循环泵和储液箱连通，循环泵和储液箱相互连通，循环泵和储液箱固定安装于支撑座底部；

所述冷却套内壁顶部和底部周向通有多个限位安装槽，限位安装槽内壁固连有滑轨和滑套，滑轨上滑动连接有压头，压头背向籽晶杆一端固连有滑动柱，滑套与滑动柱滑动连接，滑套外侧设置有弹簧，弹簧两端分别与压头和限位安装槽内壁固连；所述压头朝向籽晶杆一端嵌装有多个球头安装座，球头安装座内安装有球头。

所述压头朝向籽晶杆一端为弧面，弧面半径与籽晶杆匹配设置。

所述限位安装槽沿籽晶杆中心轴线阵列分布。

所述球头安装座呈阵列分布。

所述冷却管为螺旋状，增加了冷却面积。

所述储液箱侧壁设置有充液管口。

本实用新型的有益效果是：

在周向阵列分布的滑轨、压头、滑动柱、滑套和弹簧的作用下可以压紧籽晶杆，减缓籽晶杆的晃动进而保证了晶体的生产质量，同时由于压头内设置有球头安装座和球头所以在压紧的过程中并不会影响籽晶杆作旋转运动；在循环泵的作用下使储液箱内的冷却液在冷却管内循环流动，螺旋形的冷却管可以增大冷却面积提高冷却效果，进而提高了籽晶杆的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中A处的局部放大图；

图3为本实用新型中B向的局部示意图；

图4为本实用新型中冷却管的结构示意图。

图中:支撑座1、籽晶杆2、冷却套3、冷却管4、循环泵5、储液箱6、限位安装槽7、滑轨8、压头9、滑套10、滑动柱11、弹簧12、球头安装座13、球头14。

具体实施方式