[实用新型]一种水氧颗粒自动分析系统

说明书

本实用新型公开了一种水氧颗粒自动分析系统，包括分析检测柜、待测设备和用以放置待测设备的设备放置架，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内。本实用新型能够提高整套系统测试的通过率，缩短测试时间，降低测试成本。

技术领域

本实用新型涉及特气设备安全性检测技术领域，尤其涉及一种水氧颗粒自动分析系统。

背景技术

随着半导体集成电路、光伏等行业国内外市场需求的不断扩大，特气的用量也不断增大，因此对特气设备的需求量也越来越大，对特气设备的品质要求也越来越高。为了保证特气设备安全、稳定、可靠地贮存和输送特种气体，除了在特气输送系统设计时，全面考虑安全问题外，还需在特气设备生产过程中对设备进行安全性测试。

目前特气设备的主要安全性测试项目有：保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。

保压测试的目的是确保管路系统没有明显的泄漏，以便对管路系统进行氦测漏。测试工具：压力表。

氦检测试的目的是利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量氦气，并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。

水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。测试仪器：水分仪。

氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。测试仪器：氧分仪

颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对Wafer(晶片)良率影响很大。测试仪器：颗粒仪

目前对特气设备进行安全性测试时，直接将吹扫气源连接到管路系统的进气端，所有阀门处于开启状态，连续吹扫2H后，将管路系统的出气端与三个测试仪器(水分仪、氧分析仪、颗粒仪)中的一个相连接，使气体通入测试仪器，10分钟后打开电源，设置测试仪器各项参数后开始测试，待测试数据达到标准要求后，记录测试数据，关闭进气端和出气端阀门，使管道内保持正压，然后将测试仪器断电，使测试仪器与系统分离。然后重复上述步骤，将管路系统的出气端依次连接至另外两个测试仪器，进行测试。

目前的测试方式，通过率低，时间需求长，无法满足大规模的设备需求，主要有以下几点：

1、测试设备本身的管线洁净度，校验偏差。

测试设备每天开启后都需要自检，达到合格值之后才能进行特气设备的测试，由于连接管路部分的洁净度无法时刻保持在合格值，需要耗费一定时间来进行仪器自检。每次测试仪器与特气设备的连接和分离，都对连接管路造成了一定程度的污染，需要时间进行清洁与校验。

2、目前的测试过程只对设备进行吹扫，不能有效快速的去除设备里面原有的水氧颗粒，同时受人为因素干扰太大，如因人为操作不当导致测试未通过，需要耗费更多的时间来达到合格的测试结果。

3、水分、氧分、颗粒检测都是直接将气体输入特气设备，通过测试仪器检测设备内的气体数值是否合格，如果气源本身都不达标，那通过特气设备时的气体最终到达测试仪器时的结果必然是不合格的。

4、系统吹扫—如纯度提升方式不正确，未大量吹扫。

系统吹扫是整个水分、氧分、颗粒检测过程中的关键点，特气设备在整个生产过程中会有各种的污染来源，在进行测试前需要接入吹扫气体对设备进行系统吹扫，人为吹扫过程中很难快速的让设备达到测试条件，其中包括对吹扫次数的控制，对吹扫时间的控制等等。是整个测试过程中耗时最长，通过率低的主要因素。

5、目前整套测试系统通过率低，时间需求长，测试成本太高。

发明内容