[实用新型]一种新型超薄涂层游星轮夹具

说明书

本实用新型提供了一种新型超薄涂层游星轮夹具，所述游星轮夹具的上表面及下表面均设置有涂层，所述游星轮夹具沿周向设置有多个锯齿；所述游星轮夹具上开设有若干个装载孔，用于放置超薄工件；所述工件的厚度大于所述游星轮夹具的厚度。应用本技术方案可实现提供游星轮夹具的刚度和强度，减小游星轮夹具的变形风险，提高游星轮夹具的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及精密加工领域，具体是指一种新型超薄涂层游星轮夹具。

背景技术

随着科学技术的发展，超薄工件在众多领域扮演着重要角色，如计算机磁盘、光学镜片和半导体衬底等。这类工件通常要求具有很高的表面平整度和表面质量。研磨和抛光都属于精密加工，是超薄工件常用的加工手段。超薄工件经过平面研磨能够获得微米级的表面平整度，经过抛光则能获得极低的表面粗糙度。双面行星研磨/抛光则是指在双面行星研磨/抛光设备上进行研磨/抛光加工，由于双面行星研磨/抛光时工件的上下两个表面同时进行材料去除，因此加工效率比传统的单面研磨/抛光更高，同时，因为双面行星研磨/抛光时磨粒运动轨迹更加复杂和均匀，所以工件表面质量也更好。以上优点使得双面行星研磨/抛光成为超薄工件的首选加工方法。

传统的双面行星研磨/抛光要求游星轮夹具的厚度必须小于工件厚度。以半导体衬底为例，出于对缩减材料成本的需求，衬底的厚度规格呈现越来越薄的趋势，相应的，游星轮夹具的厚度也要求越来越薄。这使得游星轮夹具的强度和刚度难以满足要求。传统的金属超薄游星轮夹具由于刚度不够，在使用过程中容易出现较大的翘曲、变形等现象，导致工件滑出破碎等问题，同时，由于金属材料表面的耐磨损性较差，使用过程中游星轮夹具的磨损进一步降低的游星轮的刚度和强度，这将严重影响游星轮夹具的使用寿命，增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的提供一种新型超薄涂层游星轮夹具，不仅提供了游星轮夹具的刚度和强度，还减小游星轮夹具的变形风险，提高游星轮夹具的使用寿命。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种新型超薄涂层游星轮夹具，所述游星轮夹具的上表面及下表面均设置有涂层，所述游星轮夹具沿周向设置有多个锯齿；所述游星轮夹具上开设有若干个装载孔，用于放置超薄工件；所述工件的厚度大于所述游星轮夹具的厚度。

在一较佳的实施例中，所述装载孔的形状与所述工件形状相同。

在一较佳的实施例中，所述游星轮夹具厚度范围为50μm至500μm。

在一较佳的实施例中，所述涂层的厚度范围为1μm至20μm。

在一较佳的实施例中，所述涂层具体由高硬度耐磨材料制成。

在一较佳的实施例中，所述游星轮夹具具体为金属游星轮夹具。

在一较佳的实施例中，所述涂层具体为金刚石涂层。

相较于现有技术，本实用新型的技术方案具备以下有益效果：

本实用新型提供了一种新型超薄涂层游星轮夹具，通过采用高硬度耐磨材料，使得在加工超薄工件时，游星轮夹具的表面强度和耐磨性以及使用寿命提高。对于双面加工超薄工件，可在保持原有的生产效率的基础上，规避因夹具过薄带来的加工风险，且对于双面加工设备的发展和应用具有重要意义。

本实用新型采用的高硬度耐磨材料为金刚石涂层，其具有高硬度，高耐磨性和化学稳定性，因此，在传统金属游星轮夹具表面沉积一层金刚石涂层，不仅可以提供游星轮夹具的刚度和强度，减小夹具的变形，同时也可提供其表面的耐磨性，提高游星轮夹具的使用寿命。可广泛用于超薄零件的双面研磨和抛光加工中。

附图说明

图1为本实用新型优选实施例中游星轮夹具的整体结构示意图；

图2为本实用新型优选实施例中游星轮夹具的截面图。

具体实施方式