[实用新型]一种超纯砷烷的分析装置

说明书

本实用新型公开了一种超纯砷烷的分析装置，包括定量筒，定量筒顶端的中部固定设有螺纹连接头，第一气体管道的一端螺纹连接有预分析柱，预分析柱的一端螺纹连接有第三气体管道，第三气体管道的一端螺纹连接有DID检测仪，DID检测仪的一侧螺纹连接有第四气体管道，第四气体管道和第二气体管道之间螺纹连接有第一分析柱和第二分析柱，本实用新型的有益效果是通过设有的DID检测仪，利用DID检测仪内部的氦离子化检测器分析杂质气体，结果稳定，能在很短的时间内给出平衡的分析值、定量准确、检测限低及分析周期短，通过设有的分子泵机组、法兰件、防逆管道和隔膜阀，便于采用负压进气的方式，提高了操作的安全性。

技术领域

本实用新型涉及一种分析装置，特别涉及一种超纯砷烷的分析装置。

背景技术

砷烷用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂、硅中“N”型扩散、离子注入、生长砷化镓、磷砷化镓以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。另外，砷烷还用作标准气、校正气及标准混合气，因此，积极进行超纯砷烷气体的开发研究对促进电子工业及其它有关技术的发展有着十分重要的意义。与此同时，对超纯砷烷检测技术的发展也带来了更高的要求。

在超纯砷烷分析中，难点主要体现在安全性上，因为砷烷的剧毒性质，所以在分析方法的设定上除了考虑分析的准确性外还要考虑安全性，因此提供一种超纯砷烷的分析装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超纯砷烷的分析装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种超纯砷烷的分析装置，包括定量筒，所述定量筒顶端的中部固定设有螺纹连接头，所述定量筒的一端分别螺纹连接有第一气体管道和第二气体管道，所述第一气体管道的一端螺纹连接有预分析柱，所述预分析柱的一端螺纹连接有第三气体管道，所述第三气体管道的一端螺纹连接有DID检测仪，所述DID检测仪的一侧螺纹连接有第四气体管道，所述第四气体管道和第二气体管道之间螺纹连接有第一分析柱和第二分析柱。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述预分析柱的内部活动设有CST填充柱，所述第一分析柱的内部活动设有5A分子筛填充柱，所述第二分析柱的内部活动设有HaysepQ填充柱。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述定量筒的另一端螺纹连接有隔膜阀，所述隔膜阀的一端螺纹连接有防逆管道，所述防逆管道的一端通过安装有的法兰件螺纹连接有分子泵机组。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一分析柱的长度和直径、第二分析柱的长度和直径和预分析柱的长度和直径均相等。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种超纯砷烷的分析装置，通过设有的DID检测仪，利用DID检测仪内部的氦离子化检测器分析杂质气体，结果稳定，能在很短的时间内给出平衡的分析值、定量准确、检测限低及分析周期短，通过设有的分子泵机组、法兰件、防逆管道和隔膜阀，便于采用负压进气的方式，提高了操作的安全性。

附图说明

图1为本实用新型正面结构示意图。

图中：1、分子泵机组；2、法兰件；3、防逆管道；4、隔膜阀；5、螺纹连接头；6、定量筒；7、第一气体管道；8、第二气体管道；9、预分析柱；10、第一分析柱；11、第二分析柱；12、第三气体管道；13、第四气体管道；14、DID检测仪。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。