[实用新型]检测管理系统

说明书

本实用新型涉及一种检测管理系统，包括：待检测的载具，所述载具具有腔室，且所述腔室内适于具有预设气体状态；集成于所述载具上的检测获取模块，所述检测获取模块检测所述腔室内的预设气体状态的待测参数，并获取检测数据；与所述检测获取模块以及所述腔室连接的数据收集控制模块，控制所述腔室内具有所述预设气体状态，并收集所述检测数据。本实用新型实施例能够实现载具的自动化气体导入、检测以及数据收集的一系列检测流程，有利于提高测试准确率以及测试效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种检测管理系统。

背景技术

随着集成电路的半导体元件的集成度日益增加，在半导体制程中发生些微的错误或污染，导致晶圆表面的洁净度或者硅片表面稳定状态差，就可能会造成制程的失败，进而造成晶圆的毁损或报废，因而耗费大量的成本。

通常，空气中存在大量的分子污染物，例如氧气和水汽，它们在晶圆表面容易与晶圆表面发生反应形成氧化物，导致晶圆被污染。为了防止晶圆受到污染，在不同晶圆处理工具或者设备的装载端口之间通常采用晶圆载体(wafer carrier)来分批传送和存储一个或多个晶圆。目前常用的一种晶圆载体为前端开启式晶圆传送盒(FOUP，Front-Opening-Unified-Pod)，FOUP内部环境状况与晶圆的质量状况有着密切的联系，例如当FOUP内部环境不符合要求时，则放置于FOUP内部的晶圆仍会受到污染。因此，通过对FOUP内部环境与进行检测显得尤为重要，例如，可以结合检测结果和晶圆相关缺陷对造成晶圆相关缺陷的原因进行分析，预防由于内部环境因素产生的瑕疵，还可以通过检测结果判断FOUP是否具有适于承载晶圆的内部环境，以便预先判断是否适于将晶圆置于FOUP内部。

然而，现有缺乏一种可以实现自动检测的检测管理系统，检测效率以及检测准确率均有待提高。

实用新型内容

本实用新型提供一种检测管理系统，解决检测效率以及准确率低下的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型实施例提供一种检测管理系统，包括：待检测的载具，所述载具具有腔室，且所述腔室内适于具有预设气体状态；集成于所述载具上的检测获取模块，所述检测获取模块检测所述腔室内的预设气体状态的待测参数，并获取检测数据；与所述检测获取模块以及所述腔室连接的数据收集控制模块，所述数据收集模块控制所述腔室内具有所述预设气体状态，并收集所述检测数据。

在其中一个实施例中，所述检测获取模块包括：检测单元，获取所述检测数据；与所述检测单元相连的数据存储单元，存储所述检测数据，且所述数据收集控制模块收集所述数据存储单元存储的所述检测数据。

在其中一个实施例中，所述载具还包括：资料连接部件，连接所述数据存储单元与所述数据收集控制模块。

在其中一个实施例中，所述检测获取模块还包括：供电单元，与所述检测单元或者所述数据存储单元相连。

在其中一个实施例中，所述数据收集控制模块包括：充电单元，与所述供电单元相连，并对所述供电单元进行充电。

在其中一个实施例中，所述载具还包括：充电连接部件，连接所述充电单元与所述电源管理单元。

在其中一个实施例中，所述检测获取模块包括：检测单元，与所述数据收集控制模块直接相连。

在其中一个实施例中，所述检测单元包括至少一个传感器。

在其中一个实施例中，所述数据收集控制模块包括：气体引入单元，提供所述预设气体；数据收集单元，与所述检测获取模块相连，并收集所述检测数据；控制单元，与所述气体引入单元相连，且与所述数据收集单元相连。