[实用新型]一种位移台分辨率和精度检测装置

说明书

本实用新型公开了一种位移台分辨率和精度检测装置，包括方形的分辨率板、90度安装支架和显微镜，分辨率板上设置有纵向和横向的刻度，分辨率板通过基座固定连接在90度安装支架上，90度安装支架固定连接在位移台上，显微镜的物镜聚焦后能够对准分辨率板上的刻度，刻度的精度大于位移台精度，目镜上设置有十字叉丝。本实用新型的检测装置能够分别实现角度位移台、旋转台、平移台、升降台的分辨率和精度检测，显微镜的普及率相对激光干涉仪高很多，成本较低，分辨率板有不同精度的商品购买，测量装置的结构简单，无需特别维护；测量原理比较简单，无需专人操作，能够实现不同规格位移台的检测。

技术领域

本实用新型属于位移台精度和分辨率测试设备技术领域，涉及一种位移台分辨率和精度检测装置。

背景技术

位移台因其精度高、速度快、承载大、行程大等特点，而被广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域，以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的位移控制。高精度的位移台通常包括角度位移台、旋转台、平移台和升降台。

角度位移台通常由三部分组成：角度位移台、驱动电机、控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、加减速度、信号处理、使用功能（如扫描、圆弧插补）等性能参数，随着电机控制技术的提升，除了角度位移台机械部件以外，电机和控制器也从很大程度影响电移台的振动、噪音及角度位移台的定位精度。而角度位移台作为整个位移系统的核心，系统的主要技术指标如：位移精度、行程、负载、稳定性、适应环境、外形尺寸等均由其决定。高精密角度位移台其定位精度一般为0.005°，分辨率一般为0.0005°。

旋转台通常由三部分组成：旋转台、驱动电机、控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、加减速度、信号处理、使用功能（如扫描、圆弧插补）等性能参数，随着电机控制技术的提升，除了电移台机械部件以外，电机和控制器也从很大程度影响电移台的振动、噪音及旋转台的定位精度。而旋转台作为整个位移系统的核心，系统的主要技术指标如：位移精度、负载、稳定性、适应环境、外形尺寸等均由其决定。普通的旋转台其定位精度为0.01°，分辨率为0.003°。

平移台通常由三部分组成：位移台、驱动电机、控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、加减速度、信号处理、使用功能（如扫描、圆弧插补）等性能参数，随着电机控制技术的提升，除了电移台机械部件以外，电机和控制器也从很大程度影响电移台的振动、噪音及平移台的定位精度。而平移台作为整个位移系统的核心，系统的主要技术指标如：位移精度、行程、直线度、负载、稳定性、适应环境、外形尺寸等均由其决定。普通的平移台其重复定位精度一般为5μm，分辨率为2.5μm。

升降台通常由三部分组成：位移台、驱动电机、控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、加减速度、信号处理、使用功能（如扫描、圆弧插补）等性能参数，随着电机控制技术的提升，除了升降台机械部件以外，电机和控制器也从很大程度影响电移台的振动、噪音及升降台的定位精度。而升降台作为整个位移系统的核心，系统的主要技术指标如：位移精度、行程、直线度、负载、稳定性、适应环境、外形尺寸等均由其决定。高精密的升降台一般定位精度为5μm，分辨率为0.5μm，

而目前针对上述四种位移台绝对定位精度和分辨率的检测方法，是利用激光干涉仪进行测量，但由于激光干涉仪价格较高，较少单位有配备，测量一次的成本较高，操作也比较繁琐。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种位移台分辨率和精度检测装置，以解决现有技术中存在的问题。