[实用新型]可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉

权利要求书

1.一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管、连接杆、固定环体，所述内筒、外筒均为上大下小的锥形筒，所述内筒同心套装在外筒内，所述环形底设于内筒、外筒的下端部，所述环形底的内环壁与内筒的外环壁密封连接，所述环形底的外环壁与外筒的内环壁密封连接，外筒的顶部向内翻折形成内缘，所述内缘的端面与内筒的上端部外环壁密封连接，所述内筒、外筒和环形底形成环形内腔，所述第一隔板、第二隔板的形状与环形内腔的纵截面形状向匹配，所述第一隔板、第二隔板竖直设置在环形内腔内，所述第一隔板、第二隔板相互平行，所述第一隔板的上端与内缘接触，所述第一隔板的下端与环形底不接触，所述第二隔板的上端与内缘接触，所述第二隔板的下端与环形底接触，所述隔板组设置于内缘与环形底之间，相邻两个隔板组相互平行设置，每一个隔板组包括上隔板、下隔板，所述上隔板、下隔板均为与内筒的外环壁形状相匹配的弧形，所述上隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述上隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述下隔板的内侧壁与内筒的外环壁密封连接，所述下隔板的外侧壁与外筒的内环壁密封连接，所述上隔板、下隔板相对平行设置，上隔板的一端与第二隔板接触，上隔板的另一端与第二隔板不接触，下隔板的一端与第一隔板接触，下隔板的另一端与第二隔板不接触，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有第一冷却液出口，所述第一冷却液出口所在第一隔板、第二隔板之间不设置隔板组，所述第一冷却液出口靠近外筒体内缘设置，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有第一冷却液入口，第一冷却液入口所在第一隔板、第二隔板之间设置隔板组，所述第一冷却液入口位于外筒体内缘和靠近外筒体内缘的上隔板之间，所述第一冷却液入口还靠近第二隔板设置，所述连接杆为多个，多个连接杆沿内筒周向布置，所述连接杆的一端与内筒内环壁的上部固定连接，所述连接杆的另一端与固定环体的内环壁固定连接，所述固定环体具有环形空腔，在环形空腔内设有第三隔板、第四隔板，以将环形空腔分为第一流道、第二流道，在固定环体的外环壁设有第三冷却液入口、第三冷却液出口，所述第三冷却液出口与第一流道连通，所述第三冷却液入口与第二流道连通，所述第三冷却液入口靠近第四隔板设置，在固定环体的内环壁设有第二冷却液出口、第二冷却液入口，所述第二冷却液出口与第一流道连通，所述第二冷却液入口与第二流道连通，所述第二冷却液入口靠近第三隔板设置，所述出水管的一端与第一冷却液出口连接，所述出水管的另一端与第二冷却液出口连接，所述进水管的一端与第一冷却液入口连接，所述进水管的另一端与第二冷却液入口连接。

2.如权利要求1所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏还包括进水接头、出水接头、蓄水池、传感器，所述进水接头一端与第三冷却液入口连接，所述进水接头的另一端通过管线与蓄水池连接，所述出水接头一端与第三冷却液出口连接，所述出水接头的另一端通过管线与蓄水池连接，在出水接头与蓄水池之间的管线上安装有传感器。

3.如权利要求2所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述传感器为涡街流量传感器。

4.如权利要求2所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏包括第一控制部件，所述第一控制部件包括第一微处理器、第一报警灯，所述传感器与第一微处理器连接，所述第一微处理器与第一报警灯连接。

5.如权利要求2所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏包括第二控制部件，所述第二控制部件包括第二微处理器、第一继电器、蜂鸣器、第二报警灯、第二继电器、电源，所述传感器与第二微处理器连接，所述第二微处理器与第一继电器连接，所述第一继电器与蜂鸣器连接，所述第一继电器与第二报警灯连接，所述第二微处理器与第二继电器连接，所述第二继电器与蜂鸣器连接，所述第二继电器与第二报警灯连接，所述电源分别与第二微处理器、第一继电器、第二继电器、蜂鸣器连接。

6.如权利要求5所述的可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，其特征在于：所述第二报警灯内设置有红色灯、黄色灯、绿色灯。