[实用新型]干气密封系统

权利要求书

1.一种干气密封系统，其特征在于，所述干气密封系统包括：

干气密封结构(101)，包括旋转环和静态环；

加热器(102)，对流入所述干气密封结构(101)的工艺气体流体进行加热，并将加热后的流体输送到干气密封结构(101)；

工艺气体源(109)，向所述加热器(102)输送所述工艺气体流体；

传感器组件，检测经加热器(102)加热的流体的统计学性质；

处理器(105)，将测得经加热器(102)加热的所述流体的统计学性质与所述工艺气体流体的凝露点曲线建立映射关系；

控制器(106)，将所述加热器(102)的加热温度设定为比所述凝露点曲线上与所述流体的统计学性质建立映射关系的点所对应的温度高。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，流体的统计学性质至少包括温度和压力，所述传感器组件至少包括压力传感器(103)以及温度传感器(104)。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述干气密封系统还包括：温控开关(107)，所述温控开关(107)与所述控制器(106)以及加热器(102)连接，并被配置为根据所述加热器(102)的加热温度对所述加热器(102)进行开、关操作。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述干气密封系统还包括：第一流体管路，将所述加热器(102)与所述干气密封结构连接，以将加热后的流体输送到干气密封结构(101)所述第一流体管路设置有第一调节阀门，以调节经所述加热器(102)加热后流向所述干气密封结构(101)的所述流体的流量。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述干气密封系统还包括：第二流体管路，将所述工艺气体源(109)与所述加热器(102)连接，以向所述加热器(102)输送所述工艺气体流体，所述第二流体管路设置有第二调节阀门(110)，以调节经所述工艺气体源(109)流向所述加热器(102)的所述工艺气体流体的流量。

6.根据权利要求1-5任一所述的系统，其特征在于，控制器(106)对所述加热器(102)设定的加热温度与所述凝露点曲线上比所述流体的统计学性质建立映射关系的点所对应的温度的高18-22℃。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，控制器(106)对所述加热器(102)设定的加热温度与所述凝露点曲线上建立映射关系的点所对应的温度的差值为一常数。

8.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，控制器(106)对所述加热器(102)设定的加热温度比所述凝露点曲线上在同等压力的条件下所对应的温度高18-22℃。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，控制器(106)对所述加热器(102)设定的加热温度与所述凝露点曲线上在同等压力的条件下所对应的温度的差值为一常数。