[实用新型]一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置

权利要求书

1.一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定安装有安装板(2)，所述安装板(2)的内侧壁固定安装有导轨(3)，所述安装板(2)的内部设置有与导轨(3)滑动连接的转盘(4)，所述转盘(4)的底部固定安装有固定架(5)，所述固定架(5)的内部活动安装有滚珠(6)，所述安装板(2)的右侧活动安装有贯穿安装板(2)的轴杆(7)，所述轴杆(7)的外侧套接有缓冲板(8)，所述轴杆(7)的前后两端均固定安装有连接杆(9)，所述连接杆(9)的外侧套接有上料板(10)，所述上料板(10)的顶部开设有卡槽(11)，所述转盘(4)的顶部活动安装有坩埚本体(12)，所述转盘(4)的顶部固定安装有位于坩埚本体(12)外侧的转杆(13)，所述底板(1)的顶部固定安装有两个支撑杆(14)，前侧所述支撑杆(14)的背面滑动连接有下挡板(15)，所述下挡板(15)远离前侧支撑杆(14)的一端固定安装有齿条(16)，后侧所述支撑杆(14)的正面设置有与齿条(16)啮合的齿轮(17)，后侧所述支撑杆(14)的后侧设置有贯穿支撑杆(14)并与齿轮(17)固定连接的转轮(18)，所述下挡板(15)的内部活动安装有上挡板(19)，两个所述支撑杆(14)之间固定安装有放置板(20)，所述放置板(20)的顶部设置有喷涂枪(21)。

2.根据权利要求1所述的一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，其特征在于：所述安装板(2)的横截面呈“凹”字形，所述安装板(2)的内侧壁开设有安装槽，所述导轨(3)固定安装在安装槽内。

3.根据权利要求2所述的一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，其特征在于：所述转盘(4)包括托盘、连接柱和垫板，所述托盘的底部固定安装有连接柱，所述连接柱的底部固定安装有垫板，所述连接柱到安装槽的距离等于导轨(3)的宽度。

4.根据权利要求1所述的一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，其特征在于：所述固定架(5)呈圆环状，所述滚珠(6)不少于十六个，且滚珠(6)等距离排列在固定架(5)底部。

5.根据权利要求1所述的一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，其特征在于：所述缓冲板(8)与转盘(4)贴合，所述缓冲板(8)与卡槽(11)相适配。

6.根据权利要求1所述的一种用于制造石英坩埚外璧涂层的涂层装置，其特征在于：所述齿条(16)、齿轮(17)和转轮(18)均有两个，且另外一组齿条(16)、齿轮(17)和转轮(18)与上挡板(19)相适配。