[实用新型]单晶炉底部断热材

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉底部断热材，属于单晶硅生产设备技术领域。包括断热材本体及设置于所述断热材本体上的若干防护套，所述防护套可拆卸安装于所述断热材本体上。本实用新型技术方案改变传统单晶炉底部断热材的一体式设计，通过将所述防护套可拆卸连接于所述断热材本体上，一方面，在将所述单晶炉底部断热材安装于单晶炉底座上时，安装准确快捷，操作友好。另一方面，在进行清扫时，减少清扫过程中对所述防护套的碰撞，减少所述防护套的损坏率，延长设备的使用寿命。再一方面，当所述防护套被损坏后，可仅仅对所述防护套进行更换，从而极大的降低了生产成本。

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种单晶炉底部断热材。

背景技术

半导体硅单晶拉晶炉台底部采用底部断热材进行保温，由于底部排气以及石墨电极需要从炉台底部延伸到热场内，底部断热材需要开孔并延伸断热材形成筒状，一是进行保温，二是防止掉落硅料等杂物与电极接触打火。

现有技术中，提供的单晶炉底部断热材多为一体式设计，延伸到热场内的筒状断热材由于设计较薄，与加热器距离更近，容易老化，加之在对断热材进行清扫过程中，容易发生碰撞，造成断热材延伸部分损坏。当断热材的延伸部分损坏后，就必须对断热材进行整体更换，造成浪费，导致生产成本过高。

发明内容

有鉴于此，本实用新型提供一种操作友好型、使用寿命长、生产成本低的单晶炉底部断热材。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种单晶炉底部断热材，安装于单晶炉炉体与底座之间，包括断热材本体及设置于所述断热材本体上的若干防护套，所述防护套可拆卸安装于所述断热材本体上。

优选地，所述断热材本体上开设有若干用于通过石墨中轴、加热电极、进气管或出气管的通孔，所述通孔的孔壁上设置有第一安装台阶；所述防护套的外壁上设置有与所述第一安装台阶对应的第二安装台阶，所述第二安装台阶叠合于所述第一安装台阶上。

优选地，所述第一安装台阶上设置有缓冲垫圈，所述缓冲垫圈选用与所述断热材本体或所述防护套相同的材质。

优选地，所述防护套与所述断热材本体间隙配合，所述防护套的外壁与所述通孔的孔壁之间具有0～2mm的间隙。

优选地，所述防护套的内壁上设置有绝缘层。

优选地，所述防护套选用石墨材质。

优选地，所述防护套的壁厚为20mm～50mm。

由上述技术方案可知，本实用新型提供了一种单晶炉底部断热材，其有益效果是：改变传统单晶炉底部断热材的一体式设计，通过将所述防护套可拆卸连接于所述断热材本体上，一方面，在将所述单晶炉底部断热材安装于单晶炉底座上时，将所述防护套拆除，将电极、石墨中轴、进气管或出气管调整到合适位置后，再安装所述防护套，安装准确快捷，操作友好。另一方面，在进行清扫时，可以将所述防护套拆除，便于完成清扫，防止清扫过程中对所述防护套的碰撞，减少所述防护套的损坏率，延长设备的使用寿命。再一方面，当所述防护套被损坏后，可仅仅对所述防护套进行更换，从而极大的降低了生产成本。

附图说明

图1是单晶炉底部断热材的结构分解示意图。

图2是单晶炉底部断热材的俯视图。

图3是图2所示的A-A向剖面示意图。

图中：单晶炉底部断热材10、断热材本体100、通孔101、第一安装台阶110、防护套200、第二安装台阶210、缓冲垫圈111。

具体实施方式

以下结合本实用新型的附图，对本实用新型的技术方案以及技术效果做进一步的详细阐述。