[实用新型]镀膜治具

说明书

本实用新型提供了一种镀膜治具，涉及溅射镀膜技术领域，本实用新型提供的镀膜治具包括：承载组件和压片组件，承载组件设有外凸圆柱面，压片组件与承载组件可拆卸地连接；当压片组件与承载组件连接时，压片组件抵接外凸圆柱面，且沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲；压片组件用于连接可弯曲变形的镀膜基片，并使镀膜基片沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲，本实用新型提供的镀膜治具缓解了使用旋转式溅射镀膜机加工大尺寸镀膜基片的成片率低下的技术问题，能够使镀膜基片的镀膜面由平面转变为圆柱面，有利于降低镀膜散差，提高大尺寸镀膜基片的成片率。

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，尤其是涉及一种镀膜治具。

背景技术

旋转式溅射镀膜是指将镀膜基片装载至能够旋转的加工架上，当加工架绕其旋转轴旋转时，能够使固定在加工架上的多个镀膜基片逐个被靶材溅射。在使用旋转式溅射镀膜机对大尺寸镀膜基片镀膜时，镀膜基片边缘区域的镀层厚度往往与镀膜基片中心处的镀层厚度不等。以对77mm×77mm的镀膜基片进行溅射镀膜为例，以镀层厚度达到预设厚度范围作为镀膜是否有效的评判标准，当镀膜基片完成镀膜时，镀膜基片的实际有效区域仅有35mm×35mm左右，因此成片率仅为21％左右。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜治具，以缓解现有技术中使用旋转式溅射镀膜机加工大尺寸镀膜基片的成片率低下的技术问题。

第一方面，本实用新型提供的镀膜治具，包括：承载组件和压片组件，所述承载组件设有外凸圆柱面，所述压片组件与所述承载组件可拆卸连接；当所述压片组件与所述承载组件连接时，所述压片组件抵接所述外凸圆柱面，且沿所述外凸圆柱面的圆周方向弯曲；所述压片组件用于将可弯曲变形的镀膜基片固定在所述承载组件上，并使所述镀膜基片沿所述外凸圆柱面的圆周方向弯曲。

结合第一方面，本实用新型提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，所述压片组件包括：第一板件和第二板件，所述第一板件上设有凸沿部，所述凸沿部围设形成压片槽；所述第二板件与所述第一板件可拆卸连接；当所述第二板件与所述第一板件连接时，所述第二板件抵接所述凸沿部，所述第二板件与所述压片槽的底面间形成夹片区。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，所述凸沿部朝向所述压片槽的一侧设有限位凸起。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，所述第一板件包括：第一圆环部、第一侧沿部和第二侧沿部，所述第一侧沿部和所述第二侧沿部分别位于所述第一圆环部同一直径的两端，且均与所述第一圆环部连接。

结合第一方面的第三种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，所述第一圆环部的内侧连接有第一内沿部，所述第一内沿部位于所述第一侧沿部和所述第二侧沿部之间。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第五种可能的实施方式，其中，所述压片槽沿所述第一圆环部靠近所述第一圆环部轴线的侧边缘和所述第一内沿部靠近所述第一圆环部轴线的侧边缘延伸。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，所述第二板件上连接有压紧件，所述压紧件沿所述压片槽延伸；当所述第二板件与所述第一板件连接时，所述压紧件与所述压片槽的底面之间形成夹片缝隙。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型提供了第一方面的第七种可能的实施方式，其中，所述第二板件包括：第二圆环部和第二内沿部，所述第二圆环部的内侧连接所述第二内沿部；所述第二圆环部包括：第一连接部和第二连接部，所述第二内沿部位于所述第一连接部和所述第二连接部之间，所述第一连接部用于连接所述第一侧沿部，所述第二连接部用于连接所述第二侧沿部。