[实用新型]可均匀加热的防沉积薄膜涂覆槽有效

专利信息
申请号: 201920902975.1 申请日: 2019-06-14
公开(公告)号: CN210386425U 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 郝福江;王全有;赵海浩;杨渝 申请(专利权)人: 天津市天塑科技集团有限公司第二塑料制品厂
主分类号: B05C11/10 分类号: B05C11/10;B05C11/11
代理公司: 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 代理人: 朱瑜
地址: 300381 天津市北*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 均匀 加热 沉积 薄膜 涂覆槽
【权利要求书】:

1.一种可均匀加热的防沉积薄膜涂覆槽,包括用于放置涂覆液的槽体,其特征在于:所述槽体周边外侧依次设有加热层和保温层,以构成涂覆液槽的加热区和保温区,在加热层和保温层周边下部通过加热棒插孔插装有直接通入加热区的加热棒,所述槽体两侧上还制有与涂覆液槽相通的涂覆液添加口和与加热区相通的加水口,在槽体底部的中间位置均匀设立多个涂覆液循环口,并通过涂覆液添加口和涂覆液循环口与外部涂覆液泵连接构成涂覆液槽的涂覆液循环。

2.根据权利要求1所述的可均匀加热的防沉积薄膜涂覆槽,其特征在于:所述槽体下部各加热棒相邻位置处还制有热电偶插孔,通过热电偶插孔插装测温热电偶。

3.根据权利要求1所述的可均匀加热的防沉积薄膜涂覆槽,其特征在于:所述保温层内的填充材料采用保温棉。

4.根据权利要求1所述的可均匀加热的防沉积薄膜涂覆槽,其特征在于:所述槽体两侧上均匀分布有多个加热棒。

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