[实用新型]一种离子源以及一种离子注入机有效
| 申请号： | 201920891415.0 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN210040118U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 白晓鹏;廖宜专;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/16;H01J37/317 |
| 代理公司： | 31313 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 李镝的 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 离子源气体 壳体 第一空腔 多孔层 离子源 本实用新型 灯丝寿命 电流频率 均匀度 出口 容纳 引入 开放 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子源，其特征在于，包括：
壳体，其具有可容纳离子源气体的第一空腔，其中所述壳体具有用于引入离子源气体的入口以及用于引出等离子体的出口；以及
多孔层，其布置在壳体的第一空腔中，其中所述多孔层具有开放的孔隙，并且其中所述孔隙的直径在从所述入口到所述出口的方向上增大。
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述孔隙为可供离子源气体穿过的穿孔。
3.根据权利要求2所述的离子源，其特征在于，所述多孔层形成可容纳离子源气体的第二空腔，其中所述第二空腔在朝向出口的侧具有开口。
4.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述多孔层包括多个多孔层，其中每两个多孔层之间设置有间隔。
5.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述多孔层包括用于将灯丝伸入的开孔。
6.一种离子注入机，其具有根据权利要求1至5之一所述的离子源。
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