[实用新型]一种硅片磨片支撑架

权利要求书

1.一种硅片磨片支撑架，包括安装座(2)，其特征在于，所述安装座(2)底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块(1)，且安装座(2)顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱(3)，所述固定柱(3)一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨(4)，且电动滑轨(4)底部内壁滑动连接有滑块(5)，所述滑块(5)正面和背面外壁均通过固定架(11)连接有同一个支撑架(6)，所述滑块(5)远离固定柱(3)一侧外壁通过螺栓固定有支架(8)，且支架(8)顶部外壁通过螺栓固定于支撑架(6)底部外壁上，所述支撑架(6)顶部外壁通过螺钉固定有垫板(12)，且支撑架(6)两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽(10)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片磨片支撑架，其特征在于，所述垫板(12)顶部外壁开有等距离分布的螺纹孔，且每个螺纹孔内壁均通过螺纹固定有圆形柱(7)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片磨片支撑架，其特征在于，所述圆形柱(7)顶部外壁通过焊接有放置盘(9)，且放置盘(9)顶部和底部连通。

4.根据权利要求1所述的一种硅片磨片支撑架，其特征在于，所述电动滑轨(4)两端外壁均通过螺栓固定有限位板，且废料槽(10)高度不高于垫板(12)的高度。

5.根据权利要求2所述的一种硅片磨片支撑架，其特征在于，所述圆形柱(7)顶部外壁开有安装槽(16)，且安装槽(16)底部内壁设置有弹簧(15)。

6.根据权利要求5所述的一种硅片磨片支撑架，其特征在于，所述弹簧(15)顶部和底部外壁均通过凸块套接有连接板(14)，且其中一个连接板(14)位于放置盘(9)底部，放置盘(9)圆周内壁开有两个卡槽(13)。