[实用新型]一种可调纯度的高通量氮气发生器

权利要求书

1.一种可调纯度的高通量氮气发生器，其特征在于：包括空气预处理单元、空气净化单元和氮气制备单元，

所述的空气预处理单元包括依次相连的空气压缩机(1)、压力控制阀(2)、气路开关阀一(3)和空气储罐(4)组成，所述的空气净化单元包括依次相连的水滴过滤器一(7)、冷冻式压缩空气干燥器(8)、气路开关阀二(12)、超级油滴过滤器(13)、除尘过滤器一(14)、水滴过滤器二(15)组成，

所述的氮气制备单元包括两部分，

气路控制部分:PLC控制器一(16)连接电磁阀一(17)，

氮气制备部分：包括依次相连的电磁阀二(18)、碳分子筛柱一(19)、碳分子筛柱二(20)、PLC控制器二(21)电磁阀三(22)、除尘过滤器二(23)、氮气储罐一(24)和依次相连的中空纤维膜空气分离器(25)、氮气储罐二(26)。

2.根据权利要求1所述的一种可调纯度的高通量氮气发生器，其特征在于：所述的氮气制备单元包括两种氮气洗涤器，分别是碳分子筛柱洗涤器和中空纤维膜空气分离器。

3.根据权利要求1所述的一种可调纯度的高通量氮气发生器，其特征在于：所述的碳分子筛柱洗涤器内部包括碳分子筛柱一(19)、碳分子筛柱二(20)、电磁阀二(18)、电磁阀三(22)、PLC控制器二(21)、除尘过滤器二(23)、氮气储罐一(24)，所述的电磁阀二(18)和电磁阀三(22)连接碳分子筛柱一(19)和碳分子筛柱二(20)，所述的电磁阀三(22)连接除尘过滤器二(23)和氮气储罐一(24)，所述的电磁阀二(18)连接电磁阀一(17)。

4.根据权利要求1所述的一种可调纯度的高通量氮气发生器，其特征在于：所述的中空纤维膜空气分离器内部包括中空纤维膜空气分离器(25)、氮气储罐二(26)，所述的中空纤维膜空气分离器(25)连接氮气储罐二(26)，所述的电磁阀一(17)连接中空纤维膜空气分离器(25)，中空纤维膜空气分离器(25)连接氮气储罐二(26)。

5.根据权利要求1所述的一种可调纯度的高通量氮气发生器，其特征在于：所述的PLC控制器一(16)连接电磁阀一(17)，电磁阀一(17)分别连接电磁阀二(18)和中空纤维膜空气分离器(25)。

6.根据权利要求1所述的一种可调纯度的高通量氮气发生器，其特征在于：所述的PLC控制器二(21)连接电磁阀二(18)和电磁阀三(22)。