[实用新型]一种靶材背管喷涂设备的恒温系统

权利要求书

1.一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：包括：

循环液容器(1)，循环液容器(1)内盛装循环热交换媒介和用于加热循环热交换媒介的发热管(11)；

热交换反应装置(2)，用于对靶材背管进行预热；

泵液装置(3)，用于将循环液容器(1)内的循环热交换媒介泵入热交换反应装置(2)和用于将热交换反应装置(2)的循环热交换媒介回收至循环液容器(1)；

温度控制电路，设置有三相电源输入端(01)，三相电源输入端(01)并联有泵液驱动支路(02)、发热驱动支路(03)和控温支路(04)，泵液驱动支路(02)电连接泵液装置(3)，发热驱动支路(03)电连接发热管(11)；

控温支路(04)设置有温控器和温度传感器，温度传感器用于实时监测循环液容器(1)内的循环热交换媒介的温度，以使温控器导通或切断发热驱动支路(03)。

2.根据权利要求1所述的一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：所述泵液装置(3)包括第一流路(31)、第二流路(32)和设置于第一流路(31)的水泵(33)，第一流路(31)连通于循环液容器(1)的出液口和热交换反应装置(2)的进液口，第二流路(32)连通于热交换反应装置(2)的出液口和循环液容器(1)的进液口。

3.根据权利要求1所述的一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：所述控温支路(04)还设置有交流接触器KM1，所述温度传感器选用K型热电偶；

K型热电偶电连接于温控器的温度采集接口，交流接触器KM1的线圈电连接于温控器的常开开关接口，以形成一控温支路(04)，

交流接触器KM1的主触点和发热管(11)串联形成所述发热驱动支路(03)。

4.根据权利要求1所述的一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：所述泵液驱动支路(02)设置有三相过流保护器QF2，三相过流保护器QF2的进电端与三相电源输入端(01)匹配连接，三相过流保护器QF2的接线端与所述泵液装置(3)匹配连接。

5.根据权利要求3所述的一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：所述发热管(11)数量为三个，交流接触器KM1选用三相接触器，三相接触器的三个触头分别电连接三个发热管(11)。

6.根据权利要求1所述的一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：所述发热管(11)选用U型加热管，所述温控器选用型号为XMRD-2001的温控器，温控器设有操作界面和三相电缆接口，三相电源输入端(01)通过电缆连接于三相电缆接口。

7.根据权利要求1所述的一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：所述热交换媒介选用水、油或酒精。

8.根据权利要求1所述的一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：所述循环液容器(1)为顶部开口结构，循环液容器(1)的开口固定安装有风扇支架(12)，风扇支架(12)固定有散热风扇(13)，散热风扇(13)具有出风面，出风面朝向开口的上方，以用于抽走循环液容器(1)内的热空气。

9.根据权利要求8所述的一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其特征在于：所述循环液容器(1)的底部还开设有排液口，排液口连接有排液管(14)，排液管(14)上设有排液阀(141)，所述风扇支架(12)开设有安装接口，安装接口连接有补液管(121)。