[实用新型]用于探针台的晶圆防滑出结构

权利要求书

1.一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：包括成对设置的第一支撑臂（1）和第二支撑臂（2），所述第一支撑臂（1）与片盒升降机构（5）的上表面固接，所述第二支撑臂（2）与晶圆匣的框体（6）底面相抵，第二支撑臂（2）一端与第一支撑臂（1）铰接，另一端与第一支撑臂（1）之间设有第三支撑臂（3），所述第三支撑臂（3）位于晶圆匣的晶圆入口一端。

2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：所述第一支撑臂（1）朝向第三支撑臂（3）一端的上表面开设有燕尾槽（11），且燕尾槽（11）沿第一支撑臂（1）的长度方向设置，所述第三支撑臂（3）沿竖直方向设置，第三支撑臂（3）底端滑动设置在燕尾槽（11）内，顶端与第二支撑臂（2）的下表面相抵。

3.根据权利要求2所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：所述第二支撑臂（2）的下表面开设有限位槽（21），所述限位槽（21）沿第二支撑臂（2）的长度方向设置。

4.根据权利要求3所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：所述第三支撑臂（3）顶端铰接有锯齿头（31），所述锯齿头（31）与限位槽（21）的槽底相抵，锯齿头（31）背向第三支撑臂（3）的一侧设有锯齿，所述限位槽（21）的槽底对应设有锯齿部（22）。

5.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：所述第二支撑臂（2）朝向第三支撑臂（3）一端的下表面开设有腰型槽（23），且腰型槽（23）沿第二支撑臂（2）的长度方向设置，所述第三支撑臂（3）沿竖直方向设置，第三支撑臂（3）底端与第一支撑臂（1）固接，第三支撑臂（3）顶部套设有螺母（32），顶端穿设于腰型槽（23）内，所述螺母（32）与第二支撑臂（2）的下表面相抵。

6.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：两个所述第二支撑臂（2）相背的一侧分别设有侧板（24），所述侧板（24）沿竖直方向设置，侧板（24）上穿设有紧固螺杆（25），所述紧固螺杆（25）与侧板（24）螺纹配合，紧固螺杆（25）指向框体（6）的侧壁。

7.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：所述第二支撑臂（2）背向第三支撑臂（3）的一端设有限位挡板（26），所述限位挡板（26）与框体（6）背向晶圆入口的一侧相抵。

8.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：所述第二支撑臂（2）之间设有横梁（4）相连。