[实用新型]一种氦气净化装置

权利要求书

1.一种氦气净化装置，设置于高压罐和低压罐间，包括分子筛吸附模块，其特征在于，该净化装置还包括：

除油模块，设置于高压罐和分子筛吸附模块间；

湿度传感器，设置于分子筛吸附模块中；

真空泵，与分子筛吸附模块相连；

第一控制阀，设置于除油模块与高压罐连通管路中；

第二控制阀，设置于除油模块与分子筛吸附模块连通管路中；

第三控制阀，设置于分子筛吸附模块与低压罐连通管路中；

第四控制阀，设置于分子筛吸附模块与真空泵连通管路中；

PLC控制器，通过通信线路分别与湿度传感器、真空泵、第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和第四控制阀相连。

2.根据权利要求1所述的净化装置，其特征在于，真空泵和PLC控制器均采用氦气检漏系统已有装置。

3.根据权利要求1所述的净化装置，其特征在于，除油模块包括依次连通的第一活性炭过滤器、凝聚式过滤器和第二活性炭过滤器。

4.根据权利要求1或3所述的净化装置，其特征在于，除油模块与高压罐和分子筛吸附模块间均采用活动连接方式。

5.根据权利要求3所述的净化装置，其特征在于，第一活性炭过滤器、凝聚式过滤器和第二活性炭过滤器间采用活动连接方式。

6.根据权利要求3所述的净化装置，其特征在于，分子筛吸附模块由1个分子筛吸附罐构成。

7.根据权利要求3所述的净化装置，其特征在于，分子筛吸附模块由第一分子筛吸附罐和第二分子筛吸附罐构成。

8.根据权利要求7所述的净化装置，其特征在于，第一分子筛吸附罐和第二分子筛吸附罐分别具有独立的第二控制阀、第三控制阀和以及独立的湿度传感器。