[实用新型]一种高效率检测晶圆的中测台

权利要求书

1.一种高效率检测晶圆的中测台，包括探针台主体（1）、开设在探针台主体（1）上的放置槽（2），其特征在于：所述放置槽（2）内设有可拆卸连接的同轴光装置（3），所述同轴光装置（3）包括载具板（31）和与载具板（31）可拆卸连接的同轴光源（32），所述载具板（31）上对应于同轴光源（32）的位置设有透光孔（311），所述放置槽（2）上盖设有遮光板（4），所述遮光板（4）罩设在同轴光装置（3）上，所述遮光板（4）可拆卸地设置在放置槽（2）内。

2.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：所述遮光板（4）朝向放置槽（2）一侧设有限位筒（41），所述限位筒（41）外壁与放置槽（2）内壁贴合。

3.根据权利要求2所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：所述放置槽（2）外缘环设有用于压紧遮光板（4）的压紧组件（5），所述压紧组件（5）包括设置在探针台主体（1）上的安装座（51），所述安装座（51）上设有调节筒（52），调节筒（52）内设有压紧杆（53），所述压紧杆（53）可调节在调节筒（52）上的位置。

4.根据权利要求3所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：所述调节筒（52）内设有内螺纹，所述压紧杆（53）外壁设有外螺纹，所述压紧杆（53）螺接在调节筒（52）内。

5.根据权利要求4所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：所述压紧杆（53）与调节筒（52）滑动连接，所述压紧杆（53）上设有上限位板（54）和下限位板（55），所述上限位板（54）和下限位板（55）分别位于调节筒（52）两侧，所述压紧杆（53）上还套设有压簧（56），所述压簧（56）位于下限位板（55）与调节筒（52）之间，所述压簧（56）驱使压紧杆（53）向下运动。

6.根据权利要求5所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：所述上限位板（54）与压紧杆（53）螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的一种高效率检测晶圆的中测台，其特征在于：所述遮光板（4）呈筒状设置，所述遮光板（4）外壁上设有外螺纹，所述放置槽（2）呈圆形设置，所述放置槽（2）内壁固设有内螺纹环（21），所述遮光板（4）与内螺纹环（21）螺纹连接。