[实用新型]一种退火炉隔热装置

说明书

本实用新型公开了一种退火炉隔热装置，涉及热处理领域，为解决现有技术中的热传导速度快，保温效果不好，增加能耗，并且炉腔内各部分受热不均匀，且退火炉不仅使工人工作环境温度升高，不利于生产工作，以及不方便取出加热零件的问题。所述退火炉外壳的一侧设置有上盖板，所述上盖板的上端安装有盖板拉手，所述退火炉外壳内部的下方设置有拉板，所述拉板的上端面设置有拉板隔热板，所述拉板的一侧安装有拉板拉手，所述拉板的下方安装有滚轮，所述退火炉外壳的内表面设置有岩棉，所述隔热耐火砖的前端安装有钢板，所述岩棉的内部安装有硅酸钙筋条，所述拉板隔热板的上端面设置有隔热泡沫板，所述上盖板的一侧安装有盖板隔热板。

技术领域

本实用新型涉及热处理技术领域，具体为一种退火炉隔热装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，在退火炉进行加工时，需要对外部进行隔热从而有利于生产效率。

目前，用于高温的热处理退火炉，一般是在炉腔壁内侧直接设置一层隔热层，炉腔壁直接接触隔热层，热传导速度快，保温效果不好，增加能耗，并且炉腔内各部分受热不均匀，影响对整体炉腔温度的控制，且退火炉不仅使工人工作环境温度升高，不利于生产工作，还使得退火炉大量热量逃失，热效率极低，不方便进行开关门，以及不方便取出加热零件；因此市场急需研制一种退火炉隔热装置来帮助人们解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种退火炉隔热装置，以解决上述背景技术中提出的热传导速度快，保温效果不好，增加能耗，并且炉腔内各部分受热不均匀，且退火炉不仅使工人工作环境温度升高，不利于生产工作，以及不方便取出加热零件的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉隔热装置，包括退火炉外壳，所述退火炉外壳的一侧设置有上盖板，所述上盖板的上端安装有盖板拉手，所述上盖板的前端面设置有钳制器按钮，所述钳制器按钮的下方设置有导轨，所述退火炉外壳的内部设置有隔热耐火砖，所述退火炉外壳内部的下方设置有拉板，所述拉板的上端面设置有拉板隔热板，所述拉板的一侧安装有拉板拉手，所述拉板的下方安装有滚轮，所述退火炉外壳的内表面设置有岩棉，所述隔热耐火砖的前端安装有钢板，所述岩棉的内部安装有硅酸钙筋条，所述拉板隔热板的上端面设置有隔热泡沫板，所述隔热泡沫板的上端面设置有拉板泡沫凸块，所述拉板隔热板一侧的上端面设置有隔热板凹槽，所述上盖板的一侧安装有盖板隔热板，所述盖板隔热板的下方设置有隔热板凸块，所述盖板隔热板的一侧安装有盖板泡沫板，所述盖板泡沫板的一侧设置有盖板泡沫凸块。

优选的，所述导轨与退火炉外壳通过固定螺丝连接，所述上盖板的内部设置有常闭型钳制器，所述上盖板通过常闭型钳制器与导轨滑动连接，且常闭型钳制品与钳制器按钮固定连接。

优选的，所述隔热耐火砖通过水泥与退火炉外壳固定连接。

优选的，所述退火炉外壳的下方设置有缺口，且缺口的两侧均设置有滑槽，所述拉板通过滑槽与退火炉外壳滑动连接。

优选的，所述硅酸钙筋条延伸至岩棉内部与岩棉固定连接，所述钢板与隔热耐火砖贴合，所述钢板的两端均穿过隔热耐火砖和岩棉与退火炉外壳焊接连接。

优选的，所述隔热泡沫板与拉板泡沫凸块设置为一体结构，所述盖板泡沫板与盖板泡沫凸块设置为一体结构，所述隔热板凸块的形状与隔热板凹槽的形状相同。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：