[实用新型]氮气回收装置

说明书

本实用新型公开一种氮气回收装置，包括：炉体、挥发物收集构件、有机过滤构件、回收氮气控制阀、第一氧气含量侦测构件、氮气混合推进器、控制构件、第一管路、第二管路、第三管路、第四管路以及第五管路，回收氮气控制阀及第一氧气含量侦测构件设置于第三管路，控制构件信号连接回收氮气控制阀及第一氧气含量侦测构件，控制构件依据第一氧气含量侦测构件的侦测结果控制回收氮气控制阀。本实用新型的氮气回收装置可有效回收制程废气并过滤、重新投入制程中，以减少制程的新鲜氮气使用量。兼顾制程的氮气纯度要求，在质量与成本之间获得良好的平衡。

技术领域

本实用新型涉及一种氮气回收装置，尤其涉及一种减少氮气使用量的氮气回收装置。

背景技术

制程中产品会因氧气而氧化，故须以氮气来降低含氧量，故工业制程中常使用氮气作为环境作业气体。然而制程中产生的挥发物会影响制程，故须持续排除、补充新鲜的高纯度氮气，如此一来，制程成本便大为提升。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有技术的种种问题，提出一种减少氮气使用量的氮气回收装置。

为达上述目的及其他目的，本实用新型提出一种氮气回收装置，其包含：炉体、挥发物收集构件、有机过滤构件、回收氮气控制阀、第一氧气含量侦测构件、氮气混合推进器、控制构件、第一管路、第二管路、第三管路、第四管路以及第五管路，其中，该第一管路连接该炉体至该挥发物收集构件，该第二管路连接该挥发物收集构件至该有机过滤构件，该第三管路连接该有机过滤构件至该氮气混合推进器，该第四管路连接该氮气混合推进器至该炉体，该第五管路连接新鲜氮气源至该氮气混合推进器，该回收氮气控制阀及该第一氧气含量侦测构件设置于该第三管路，该控制构件信号连接该回收氮气控制阀及该第一氧气含量侦测构件，该控制构件依据该第一氧气含量侦测构件的侦测结果控制该回收氮气控制阀。

可选地，还包括新鲜氮气控制阀，设置于该第五管路。

可选地，还包括第二氧气含量侦测构件，设置于该挥发物收集构件的上游。

可选地，还包括第一排气管路及第一排气阀，该第一排气管路连接该第二管路，该第一排气阀设置于该第一排气管路。

可选地，还包括第二排气管路及第二排气阀，该第二排气管路连接该第三管路且位于该第一氧气含量侦测构件的下游，该第二排气阀设置于该第二排气管路。

借此，本实用新型的氮气回收装置可有效回收制程废气并过滤、重新投入制程中，以减少制程的新鲜氮气使用量。并且兼顾制程的氮气纯度要求，在质量与成本之间获得良好的平衡。

为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关实用新型的详细说明与附图，但是此等说明与所附图仅用来说明本实用新型，而非对本实用新型的权利范围作任何的限制。

附图说明

图1为本实用新型实施例的氮气回收装置的示意图。

【符号说明】

100 氮气回收装置

1 炉体

2 挥发物收集构件

3 有机过滤构件

4 回收氮气控制阀

5 氮气混合推进器

6 控制构件

7 新鲜氮气控制阀

E1 第一排气管路

E11 第一排气阀

E2 第二排气管路

E21 第二排气阀

N 新鲜氮气源