[实用新型]一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构

权利要求书

1.一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：包括放料机构(1)、收料机构(2)、压紧装置(5)和切断机构(6)，所述放料机构(1)、收料机构(2)、压紧装置(5)和切断机构(6)均设置于真空舱内，所述放料机构(1)和收料机构(2)分别位于溅镀区左右两侧，所述压紧装置(5)和切断机构(6)均位于收料机构(2)上方并与真空舱顶部固定连接，所述收料机构(2)包括若干卷料机构，所述卷料机构用于缠绕从放料机构(1)上放下的带料。

2.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：所述收料机构(2)还包括主电机(21)、轮盘(22)、主动轴(27)和支架(28)，所述主电机(21)主体与真空舱侧壁固定连接，所述主电机(21)的输出端与主动轴(27)的端部固定连接，所述主动轴(27)架设在支架(28)上并与支架(28)转动连接，所述主动轴(27)穿过轮盘(22)的圆心并与轮盘(22)固定连接，所述轮盘(22)和支架(28)数量均为2个，2个所述轮盘(22)均设置在2个支架(28)之间。

3.根据权利要求2所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：2个所述轮盘(22)之间设置有若干卷料机构，所述卷料机构围绕主动轴(27)圆周布置，所述卷料机构在主电机(21)的驱动下随着轮盘(22)做圆周运动。

4.根据权利要求3所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：所述卷料机构包括缠绕杆(23)、限位盘(24)、连接杆(25)和次电机(26)，所述连接杆(25)一端与限位盘(24)固定连接，另一端与轮盘(22)固定连接，所述次电机(26)主体与轮盘(22)固定连接，所述次电机(26)的输出端与缠绕杆(23)的端部固定连接，所述缠绕杆(23)两端分别与限位盘(24)和另一个轮盘(22)转动连接。

5.根据权利要求4所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：所述缠绕杆(23)的外径上覆盖有双面胶。

6.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：所述压紧装置(5)包括两个气缸和一个滚轴，两个所述气缸的主体均与真空舱顶部固定连接，两个所述气缸的输出端分别连接滚轴的两端，所述压紧装置(5)下压时，滚轴的侧面将带料压在缠绕杆(23)的侧面上。

7.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：所述切断机构(6)包括滑轨、T型滑块、连接滑块和滚刀，所述滑轨沿着主动轴(27)所在轴线方向固定在真空舱顶部，所述T型滑块的水平部与滑轨滑动连接，所述连接滑块的顶部侧面与T型滑块的垂直面滑动连接，所述滚刀与连接滑块的底部固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：还包括压辊机构(4)，所述压辊机构(4)数量为两个，分别位于放料机构(1)与溅镀区之间和溅镀区与收料机构(2)之间，所述压辊机构(4)包括上压辊、下压辊和两个电缸，所述上压辊和下压辊均与带料接触，所述上压辊的两端分别连接两个电缸的输出端，两个所述电缸主体均与真空舱顶部固定连接，所述下压辊位于上压辊下方并与真空舱侧壁固定连接。

9.根据权利要求8所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：还包括控制装置(3)，所述控制装置(3)固定设置在真空舱外侧壁上，所述控制装置(3)与放料机构(1)、收料机构(2)、压辊机构(4)、压紧装置(5)和切断机构(6)均电连接。

10.根据权利要求1所述的一种芯片载带真空溅镀用连续分卷机构，其特征在于：所述放料机构(1)为卷料放料架或带料放料架中的一种。