[实用新型]一种化学机械抛光装置有效
| 申请号： | 201920838920.9 | 申请日： | 2019-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN210499749U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 潘永志;张明文;陈琳 | 申请（专利权）人： | 湖南大合新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30 |
| 代理公司： | 衡阳雁城专利代理事务所(普通合伙) 43231 | 代理人： | 邹强 |
| 地址： | 421000 湖南省衡阳市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械抛光装置，包括抛光头（1）、承载盘（2），所述抛光头（1）下方设有晶片夹持器（3），所述承载盘（2）表面铺设有抛光垫（4），所述抛光头（1）的旋转方向和所述承载盘（2）的旋转方向相反，其特征在于：所述承载盘（2）的盘面呈由盘中间向盘圆周逐渐降低的倾斜形状，倾斜角度为1.5-2.5°，所述盘中间各处的高度均相同，所述晶片夹持器（3）位于盘中间和盘圆周之间的上方，所述抛光头（1）的转速为3-20r/min。
2.根据权利要求1所述的化学机械抛光装置，其特征在于：所述倾斜角度为2°。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南大合新材料有限公司，未经湖南大合新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920838920.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于握持的预充式注射器
- 下一篇：一种耐候型电缆线盘
