[实用新型]基板用双模式检查夹具及基板用检查装置

权利要求书

1.一种基板用双模式检查夹具，安装在用于对形成有多条布线的电路基板的所述布线进行电气检查的基板用检查装置上，包括：

夹具头部；以及

电极安装部，所述电极安装部以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的与所述电路基板相反的一侧，且安装有电极，

其特征在于，

所述夹具头部具有接触式夹具头部和非接触式夹具头部。

2.根据权利要求1所述的基板用双模式检查夹具，其特征在于，

在所述夹具头部中，所述接触式夹具头部与所述非接触式夹具头部分体形成。

3.根据权利要求1所述的基板用双模式检查夹具，其特征在于，

在所述夹具头部中，所述非接触式夹具头部以嵌入到所述接触式夹具头部的方式与所述接触式夹具头部一体形成。

4.根据权利要求2或3所述的基板用双模式检查夹具，其特征在于，

所述非接触式夹具头部设有感应元件，所述感应元件以非接触的方式对该感应元件与所述电路基板的检查点之间的电压进行检查。

5.根据权利要求4所述的基板用双模式检查夹具，其特征在于，

所述接触式夹具头部包括：

检查侧支承体，所述检查侧支承体具有检查侧贯通孔；

电极侧支承体，所述电极侧支承体与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔；

连接构件，所述连接构件将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起；以及

探针，所述探针贯穿所述检查侧贯通孔和所述电极侧贯通孔，且前端从所述检查侧贯通孔向所述电路基板突出并能与所述电路基板接触、后端从所述电极侧贯通孔向所述电极安装部突出而与所述电极接触，

所述探针的前端比所述非接触式夹具头部向所述电路基板突出。

6.根据权利要求5所述的基板用双模式检查夹具，其特征在于，

在所述探针未与所述电路基板接触的情况下，所述探针的前端从所述检查侧贯通孔向所述电路基板突出的突出量最大为200um。

7.根据权利要求6所述的基板用双模式检查夹具，其特征在于，

相对于所述接触式夹具头部的所述检查侧支承体，所述非接触式夹具头部的所述感应元件的上表面朝向所述电路基板突出的突出量△d满足0≤△d≤30um。

8.根据权利要求7所述的基板用双模式检查夹具，其特征在于，

所述非接触式夹具头部还具有用于调整所述感应元件的高度的垫片。

9.根据权利要求4所述的基板用双模式检查夹具，其特征在于，

所述非接触式夹具头部的感应元件为TRL传感器，

所述非接触式夹具头部还包括电压施加部，所述电压施加部对所述电路基板施加瞬态电压。

10.一种基板用检查装置，用于对形成有多条布线的电路基板的所述布线进行电气检查，其特征在于，包括：

权利要求1至9中任一项所述的基板用双模式检查夹具；

移动机构，该移动机构用于使所述基板用双模式检查夹具移动；

保持机构，该保持机构用于将所述电路基板保持于检查位置处；

控制部，该控制部用于对所述移动机构和所述保持机构中的至少一个进行控制；以及

显示部，该显示部用于显示对所述电路基板进行检查的结果。