[实用新型]三维振镜扫描系统

权利要求书

1.一种三维振镜扫描系统，包括激光发射器、聚焦镜系统、X轴扫描头以及Y轴扫描头，激光发射器发射光束，光束通过聚焦镜系统，经X轴扫描头、Y轴扫描头到达焦点工作平面，其特征在于，所述聚焦镜系统包括扩束镜以及聚焦镜片组，光束经所述扩束镜扩束后被聚焦镜片组聚焦，所述扩束镜相对聚焦镜片组可移动以调节焦点在Z轴的位置。

2.如权利要求1所述的三维振镜扫描系统，其特征在于，所述扩束镜设于移动组件，所述移动组件包括驱动电机、第一连杆、第二连杆、用于安放扩束镜的滑座以及滑轨；

所述第一连杆设于驱动电机的转轴，所述第二连杆一端活动连接第一连杆，另一端活动连接滑座，所述驱动电机通过第一连杆与第二连杆驱动滑座沿滑轨往返移动。

3.如权利要求2所述的三维振镜扫描系统，其特征在于，所述第二连杆的两端分别通过销钉活动连接第一连杆与滑座，两个所述销钉之间设有拉力件，所述拉力件用于提供使两销钉相互靠近的力。

4.如权利要求3所述的三维振镜扫描系统，其特征在于，所述拉力件为拉力弹簧。

5.如权利要求3所述的三维振镜扫描系统，其特征在于，两个所述销钉的一端均开设有螺纹，该销钉分别通过螺纹紧固在第一连杆以及滑座上。

6.如权利要求1-5任一项所述的三维振镜扫描系统，其特征在于，所述聚焦镜系统可拆卸。

7.如权利要求6所述的三维振镜扫描系统，其特征在于，所述X轴扫描头包括X轴伺服电机以及设于X轴伺服电机的转轴上的振镜X，所述Y轴扫描头包括Y轴伺服电机以及设于Y轴伺服电机的转轴上的振镜Y。

8.如权利要求7所述的三维振镜扫描系统，其特征在于，所述振镜X与振镜Y的镜面中心位于扩束镜与聚焦镜片组的光束轴心线上。

9.如权利要求6所述的三维振镜扫描系统，其特征在于，所述Y轴扫描头的出光侧设有场镜。

10.如权利要求6所述的三维振镜扫描系统，其特征在于，所述扩束镜的一入光面靠近中心位置为凹面，所述扩束镜的出光面为平面；

所述聚焦镜片组包括分离的聚焦镜片一和聚焦镜片二，所述聚焦镜片一靠近Y轴扫描头设置，所述聚焦镜片一的入光面为凸面，所述聚焦镜片一的出光面为平面，所述聚焦镜片二靠近聚焦镜片一的出光面设置，所述聚焦镜片二的入光面为平面，所述聚焦镜片二的出光面为凸面。